[发明专利]晶片的辅助取片机构、取片系统及取片方法

说明书

技术领域

本发明属于半导体晶片加工技术领域，具体涉及一种晶片的辅助取片机构，以及设有该辅助取片机构的取片系统及取片方法。

背景技术

随着半导体晶片加工过程中自动化程度的提高，在自动化取放晶片的传输过程中越来越多的利用料盒来承载晶片。例如，太阳能电池片自动化生产过程中，从料盒中取出电池片是电池片的自动化传输过程的第一步，所以取片的效率和可靠性便成为实现自动化生产的重要条件之一。常见的料盒如图1所示，料盒1内部有用于承载电池片10的槽口11，槽口11的数量通常有25、50或100个，电池片10可从料盒1的前端插入槽口11中，此外，料盒1底部的前端和后端通常还设有U型缺口12。

图2是目前常用的电池片传输的自动化传输设备及取片系统的示意图，该传输系统包括上下两层用于传输料盒的传输皮带21、22、一个用于放臵料盒1的升降台3和一个取片机构4。其中，取片机构4包括驱动器41、滑块42和驱动轮43，如图3a和图3b所示，驱动器41能够驱动滑块42前后移动，并且滑块42上设有传送带44。如图4a和图4b所示，装满电池片10的料盒1在上层传输皮带21的驱动下被传送到升降台3上，然后取片机构4的驱动器41驱动滑块42向后移动至料盒1中最低位的电池片10的下方，再将升降台3下降适当高度，使传送带44在料盒1底部的U型缺口12处托住最低位的电池片10，此时驱动轮43对传送带44进行驱动，即可由传送带44将最低位的电池片10取出料盒1。之后，升降台3再下降一个槽口11间距（通常为4.76mm），取片机构4就可以用相同的方法由传送带44将电池片10逐个取出料盒1。料盒1中的电池片10取尽之后，取片机构4的滑块42向前移动，升降台3下降至与下层传输22皮带相同的高度，然后把空料盒1从升降台3传送到下层传输皮带22上，再上升至上层传输皮带21的高度，并接收新的装满电池片10的料盒1，以便取片机构4继续取出电池片10。

本发明人在实现本发明的过程中发现，现有技术至少存在以下问题：如图4a所示，由于料盒1底部的前后端开有U型缺口12，但中间是连接起来的。由于该连接部分的存在，取片机构4的传送带44只能托起电池片10前端不到一半的部分，电池片10由于自身重力，后端会下垂，同时前端翘起，如图4b所示，使电池片10与传送带44的接触面积很小，容易导致电池片10无法顺利取出，因此影响了取片效率。

发明内容

本发明实施例提供了一种晶片的辅助取片机构，以及设有该辅助取片机构的取片系统及取片方法，解决了现有技术容易导致电池片或其他晶片无法顺利取出，影响取片效率的技术问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明提供了一种晶片的辅助取片机构，包括滑动板和驱动器，所述驱动器用于驱动所述滑动板前后移动，所述滑动板的前端设有滚轴；

当晶片的主取片机构（即背景技术中的取片机构）托起晶片底部的前端，从装有所述晶片的料盒前侧取出所述晶片时，所述滑动板在所述驱动器的驱动下向前移动至所述料盒后侧的下方，所述滚轴用于托住所述晶片底部的后端。

进一步，当所述料盒中的晶片取尽时，所述滑动板在所述驱动器的驱动下向后移出所述料盒的下方。

优选的，该辅助取片机构还包括支撑所述滑动板的支撑板，所述支撑板上设有导轨，所述滑动板可在所述驱动器的驱动下沿所述导轨前后移动。

优选的，所述滚轴为表面包覆聚氨酯的轴承。

优选的，所述驱动器为气缸，所述气缸中的顶杆通过浮动接头与所述滑动板连接。

本发明还提供了一种晶片的取片系统，包括升降台和主取片机构，所述升降台用于放臵装有若干个晶片的料盒；

所述取片系统还包括上述的辅助取片机构。

进一步，所述主取片机构包括主驱动器、滑块和驱动轮，所述主驱动器用于驱动所述滑块前后移动，所述滑块上设有传送带，所述传送带通过所述驱动轮进行驱动。

本发明还提供了一种基于上述取片系统的取片方法，包括：

步骤一、所述主取片机构的主驱动器驱动所述滑块向后移动至所述料盒中最低位的晶片前端的下方，同时，所述辅助取片机构的驱动器驱动所述滑动板向前移动至所述料盒中最低位的晶片后端的下方；

步骤二、所述升降台带动所述料盒下降一定高度，使所述主取片机构的传送带托住所述最低位的晶片底部的前端，同时所述辅助取片机构的滚轴托住所述最低位的晶片底部的后端；

步骤三、所述主取片机构的驱动轮驱动所述传送带将所述最低位的晶片从所述料盒中取出；