[发明专利]振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体

说明书

本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。

技术领域

本发明涉及振动片及其制造方法、利用该振动片的陀螺仪传感器和安装有该振动片的电子设备以及移动体等。

背景技术

例如陀螺仪传感器中利用的振动片是一般公知的。当对振动片施加角速度运动时，由于科里奥利力（Coriolis force）的作用，驱动用振动臂的振动方向发生变化。与科里奥利力对应地在特定的方向上产生新的力成分。该力成分引起检测用振动臂的运动。这样从检测用振动臂输出与力成分对应的输出信号。

专利文献1：日本特开2008-267983号公报

例如，可从压电材料这样的原料中削出振动片的主体。在削出时，在原料的正面以及背面上配置掩模。当在掩模彼此之间产生对准偏差时，驱动用振动臂的侧面倾斜，无法与正面以及背面垂直。当这样地在驱动用振动臂的截面形状中产生加工误差时，驱动用振动臂不能在规定的假想平面内振动而是在相对于规定的假想平面倾斜的假想平面内振动。产生所谓的倾斜振动。这样的现象被称为振动泄漏，在检测用振动臂的输出信号中，泄漏振动的成分叠加在力成分上。结果，输出信号的S/N比恶化。即，在没有输入角速度运动的状态下从振动片输出作为噪声的信号。在专利文献1中，在去除泄漏振动成分时，部分地切削检测电极。但是，这样地去除检测电极会引起信号强度降低。因此，不能像所期待的那样提高输出信号的S/N比。

发明内容

根据本发明的至少1个方式，能够提供一种能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比的振动片。

（1）本发明的一个方式涉及一种振动片，该振动片具备：基部，其在至少一部分中包含压电体；驱动用振动臂以及检测用振动臂，其从所述基部起延伸；配置在所述压电体上的布线，其与设置在所述检测用振动臂上的电极连接；以及调整用电极，其是所述布线的至少一部分，生成与所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。

这样的振动片可以用于角速度的检测。在角速度的检测中利用驱动用振动臂激励产生振动。在此情况下，当对振动片施加角速度运动时，由于科里奥利力的作用，驱动用振动臂的振动方向发生变化。与科里奥利力相对应地，在特定方向上产生新的力成分。该力成分引起检测用振动臂的运动。这样从检测用振动臂输出与力成分对应的输出信号。

如果检测用振动臂的形状与所设计的形状有偏差，则在检测用振动臂的输出信号中，泄漏振动的成分叠加在力成分中。此时，调整用电极生成与检测用振动臂的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。生成的电信号叠加在检测用振动臂的输出信号中。结果，在检测用振动臂的输出信号中消除了泄漏振动的成分。这样，提高了输出信号的S/N比。

（2）可去除所述调整用电极的至少一部分。当这样地去除调整用电极时，与调整用电极相接触的压电体的区域减少。结果，对相反相位的电信号的生成有贡献的压电体减少。可以这样地调整相反相位的电信号的电荷量。结果，能够良好地消除泄漏振动的成分。

（3）所述调整用电极可具备：布线主体，其与设置在所述检测用振动臂上的电极连接；以及多个导电片，它们沿着所述布线主体的长度方向排列，分别通过细导线与所述布线主体连结。