[发明专利]无极准分子灯光催化降解废气的装置和方法

权利要求书

1.一种无极准分子灯光催化降解废气的方法，其特征在于：所用反应器(5)包括三层石英介质层、内电极(71)、外电极(72)和高压电源(73)；

所述三层石英介质层包括同轴线的、由内向外依次设置的第一石英管(51)、第二石英管(52)和第三石英管(53)；内电极(71)设置在第一石英管(51)的内部，外电极(72)设置在第二石英管(52)的外侧面上；

第一石英管(51)的两端敞口，第一石英管(51)的内部空腔为I区反应区；第二石英管(52)套装在第一石英管(51)外，第二石英管(52)的上、下两端端口烧结在第一石英管(51)的外侧面，从而第二石英管(52)与第一石英管(51)之间形成密闭的环形空腔，作为气体填充II区；第三石英管(53)的两端敞口，第三石英管(53)与第二石英管52之间形成III区反应区；

光催化降解废气时，气体填充II区抽真空后，向气体填充II区充入稀有气体或者稀有气体-卤素混合气体；接通高压电源(73)后，气体填充II区的气体被激发产生准分子紫外光，向I区反应区和III区反应区的方向辐射；

待降解的废气全部经过I区反应区，在准分子紫外辐射作用下被降解；或者待降解的废气全部经过III区反应区，在准分子紫外辐射作用下被降解；或者待降解的废气分流进入I区反应区和III区反应区，在准分子紫外辐射作用下被降解；气体从I区反应区或III区反应区流出后，由引风机抽出排放。

2.根据权利要求1所述的无极准分子灯光催化降解废气的方法，其特征在于：待降解的废气与水蒸气和干洁空气混合后进入反应器(5)内降解。

3.根据权利要求1所述的无极准分子灯光催化降解废气的方法，其特征在于：从废气发生器或者废气储气罐流出的待降解的废气经过气体混合器(3)初步混合，再经过进气分配器(4)多孔分流后进入I区反应区或III区反应区进行降解。

4.根据权利要求1所述的无极准分子灯光催化降解废气的方法，其特征在于：气体填充II区充入的稀有气体为Xe₂；充入的稀有气体-卤素混合气体为Ar/F₂、Kr/Cl₂、Kr/Br₂、Kr/I₂、Xe/I₂、Xe/C₂、Kr/F₂；反应器(5)辐射的准分子光的波长λ=108～345nm。

5.根据权利要求1所述的无极准分子灯光催化降解废气的方法，其特征在于：所述高压电源(73)为中频脉冲方波电源，放电电压在0kV～15kV范围内可调。