[发明专利]铁氧体薄膜形成用组合物和铁氧体薄膜及其形成方法无效
申请号: | 201310088140.4 | 申请日: | 2013-03-19 |
公开(公告)号: | CN103360044A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 土井利浩;樱井英章;中村贤蔵;五十岚和则;曽山信幸 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | C04B35/26 | 分类号: | C04B35/26;C04B35/624 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铁氧体 薄膜 形成 组合 及其 方法 | ||
1.一种铁氧体薄膜形成用组合物,为通过溶胶-凝胶法形成了组成以(Ni1-xZnxO)t(Fe2O3)s、(Cu1-xZnxO)t(Fe2O3)s或(Ni0.80-yCu0.20ZnyO)t(Fe2O3)s表示的铁氧体薄膜的组合物,其中,
所述组合物通过将金属原料溶解于包含乙腈的溶剂而成,
将所述组合物设为100质量%时的所述乙腈的比例为30~60质量%,
其中,所述x满足0<x<1,所述y满足0<y<0.80,所述s、t分别满足0.95≤s≤1.05、0.95≤t≤1.05,并且满足s+t=2。
2.如权利要求1所述的铁氧体薄膜形成用组合物,其中,
所述金属原料为Ni、Zn、Cu或Fe的金属醇盐、醋酸盐、环烷酸盐或硝酸盐。
3.如权利要求1或2所述的铁氧体薄膜形成用组合物,其中,
所述组成以(Ni1-xZnxO)t(Fe2O3)s表示的铁氧体薄膜中,所述x在0.10≤x≤0.65的范围内。
4.如权利要求1或2所述的铁氧体薄膜形成用组合物,其中,
所述组成以(Cu1-xZnxO)t(Fe2O3)s表示的铁氧体薄膜中,所述x在0.20≤x≤0.80的范围内。
5.如权利要求1或2所述的铁氧体薄膜形成用组合物,其中,
所述组成以(Ni0.80-yCu0.20ZnyO)t(Fe2O3)s表示的铁氧体薄膜中,所述y在0.20≤y≤0.40的范围内。
6.一种铁氧体薄膜的形成方法,使用如权利要求1至5中任一项所述的铁氧体薄膜形成用组合物并通过溶胶-凝胶法进行成膜。
7.一种铁氧体薄膜,通过如权利要求6所述的铁氧体薄膜的形成方法形成。
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