[发明专利]硬质包覆层发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具

权利要求书

1.一种表面包覆切削工具，其特征在于，

在由碳化钨基硬质合金、碳氮化钛基金属陶瓷或立方晶氮化硼基超高压烧结体中任一个构成的基体的表面，

(a)包覆形成由通过化学蒸镀法成膜且平均层厚为2～20μm的立方晶结构的Ti和Al的复合碳氮化物层构成的硬质包覆层，

(b)在上述硬质包覆层中，将其平均组成以组成式：(Ti_1-XAl_X)(C_YN_1-Y)表示时，Al含有比例X及C含有比例Y分别满足0.55≤X≤0.95、0.0005≤Y≤0.005，其中，X、Y均为原子比，

(c)以从上述硬质包覆层与基体的界面进入硬质包覆层的内部0.5μm的位置L为中心进行组成分析，求出立方晶结构的Ti和Al的复合碳氮化物的Al含有比例，将其平均值设为X_L，则该Al含有比例X_L为0.55≤X_L≤0.70，其中，X_L为原子比，并且，以从硬质包覆层的表层进入硬质包覆层的内部0.5μm的位置H为中心进行组成分析，求出立方晶结构的Ti和Al的复合碳氮化物的Al含有比例，将其平均值设为X_H，则该Al含有比例X_H为0.80≤X_H≤0.95，其中，X_H为原子比，另外，硬质包覆层中的Al含有比例具有随着从硬质包覆层与基体的界面侧朝向硬质包覆层的表层侧而逐渐增加的组成倾斜结构，

(d)对每个存在于从上述硬质包覆层与基体的界面进入硬质包覆层的内部0.5μm的位置L的立方晶结构的Ti与Al的复合碳氮化物晶粒求出长轴宽度、短轴宽度，将这些晶粒的长轴宽度和短轴宽度的比设为平均纵横尺寸比A_L，则该平均纵横尺寸比A_L为1～2，并且，对每个存在于从硬质包覆层的表层进入硬质包覆层的内部0.5μm的位置H的立方晶结构的Ti与Al的复合碳氮化物晶粒求出长轴宽度、短轴宽度，将这些晶粒的长轴宽度和短轴宽度的比设为平均纵横尺寸比A_H，则该平均纵横尺寸比A_H为3～10。

2.如权利要求1所述的表面包覆切削工具，其特征在于，

上述硬质包覆层中所含有的平均含氯量为0.001～1.0原子%。

3.如权利要求2所述的表面包覆切削工具，其特征在于，

以从上述硬质包覆层与基体的界面进入硬质包覆层的内部0.5μm的位置L为中心进行组成分析，求出氯的含有比例，将其平均值设为平均含氯量C_L，则该平均含氯量C_L为0.02～1.0原子%，并且，以从硬质包覆层的表层进入硬质包覆层的内部0.5μm的位置H为中心进行组成分析，求出氯的含有比例，将其平均值设为平均含氯量C_H，则该平均含氯量C_H为0.001～0.01原子%，而且，硬质包覆层中的平均含氯量具有随着从硬质包覆层与基体的界面侧朝向硬质包覆层的表层侧而逐渐减少的组成倾斜结构。

4.如权利要求1～3中任一项所述的表面包覆切削工具，其特征在于，

上述硬质包覆层通过至少含有三甲基铝来作为反应气体成分的化学蒸镀法蒸镀形成。