[发明专利]辉光放电切削装置和辉光放电切削方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过伴随辉光放电的溅射，对试样表面进行切削的辉光放电切削装置和辉光放电切削方法。

背景技术

现有利用辉光放电对作为观察或分析对象的试样表面进行切削的技术（例如参照日本专利特許第4143620号）。此时，用于溅射的气体是不活泼气体或混合有不活泼气体的混合气体。另一方面，为了形成用于热敏打印机的热敏打印头，具有使用氩气和氧气的混合气体进行溅射的技术（例如参照日本专利公开公报特开平10－305603号）。

本发明人发现，作为用于溅射的气体，当在不活泼气体中混合氧气的情况下，处理后的试样表面的平滑度变高。可是，氧气的混合比越大，蚀刻速度就越慢。另一方面，在减小氧气的混合比的情况下，蚀刻速度虽然增大，但处理后的试样表面的平滑度降低。适合溅射的氧气的混合比，每种试样都不同。

发明内容

鉴于所述的问题，本发明的目的是提供辉光放电切削装置和辉光放电切削方法，能根据试样恰当地设定由不活泼气体和氧气构成的混合气体中的氧分压。

本发明提供一种辉光放电切削装置，在通过配管向辉光放电管提供的混合气体的气氛下，通过辉光放电对试样进行切削，所述辉光放电是通过在所述辉光放电管内部的电极和与该电极相对配置的试样之间施加电压而产生的，所述辉光放电切削装置包括：接受部，接受将不活泼气体和氧气混合的混合比；控制部，根据所述接受部已接受的所述混合比，分别控制不活泼气体和氧气的供给量；以及供给部，把由所述控制部分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过所述配管提供给所述辉光放电管。

在本发明的辉光放电切削装置中，接受把不活泼气体和氧气混合的混合比，根据已接受的混合比分别控制不活泼气体和氧气的供给量。辉光放电切削装置把分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过配管提供给辉光放电管。辉光放电切削装置在提供的混合气体的气氛下，利用通过在辉光放电管内部的电极和试样之间施加电压而产生的辉光放电，对试样进行切削。

本发明还提供一种辉光放电切削装置，在通过配管向辉光放电管提供的混合气体的气氛下，通过辉光放电对试样进行切削，所述辉光放电是通过在所述辉光放电管内部的电极和与该电极相对配置的试样之间施加电压而产生的，所述辉光放电切削装置包括：检测部，检测施加有电压的试样表面产生的电压的自偏压值；存储部，以将所述自偏压值与不活泼气体和氧气的混合比取得对应的方式存储有所述自偏压值与不活泼气体和氧气的混合比；检索部，根据所述检测部检测到的所述自偏压值，从存储在所述存储部中的内容检索所述混合比；控制部，根据所述检索部检索到的所述混合比，分别控制不活泼气体和氧气的供给量；以及供给部，把由所述控制部分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过所述配管提供给所述辉光放电管。

在本发明的辉光放电切削装置中，检测在施加有电压的试样表面产生的电压的自偏压值。辉光放电切削装置根据检测到的自偏压值，从以将自偏压值与不活泼气体和氧气的混合比取得对应的方式存储有自偏压值与不活泼气体和氧气的混合比的存储部检索混合比。辉光放电切削装置根据检索到的混合比分别控制不活泼气体和氧气的供给量。辉光放电切削装置把分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过配管提供给辉光放电管。辉光放电切削装置在提供的混合气体的气氛下，利用通过在辉光放电管内部的电极和试样之间施加电压而产生的辉光放电，对试样进行切削。

本发明还提供一种辉光放电切削装置，在通过配管向辉光放电管提供的混合气体的气氛下，通过辉光放电对试样进行切削，所述辉光放电是通过在所述辉光放电管内部的电极和与该电极相对配置的试样之间施加电压而产生的，所述辉光放电切削装置的特征在于，所述辉光放电装置包括：接受部，接受试样的种类；存储部，以将试样的种类与不活泼气体和氧气的混合比取得对应的方式存储有试样的种类与不活泼气体和氧气的混合比；检索部，根据所述接受部已接受的试样的种类，从存储在所述存储部中的内容检索所述混合比；控制部，根据所述检索部检索到的所述混合比，分别控制不活泼气体和氧气的供给量；以及供给部，把由所述控制部分别控制了供给量的不活泼气体和氧气混合，把混合气体通过所述配管提供给所述辉光放电管。