[发明专利]带凹杯LED氮化铝陶瓷支架的制备方法有效
| 申请号： | 201310082908.7 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN103208577A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 吴朝晖;刘浩;李杰民;廖秋荣 | 申请（专利权）人： | 东莞市凯昶德电子科技股份有限公司;深圳市泓亚光电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L33/64;H01L33/62 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 徐勋夫 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带凹杯 led 氮化 陶瓷 支架 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种带凹杯LED氮化铝陶瓷支架的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）清洗，对带凹杯氮化铝陶瓷片进行清洗，去除陶瓷片表面的杂质和沾污；
（2）真空溅镀，以真空溅镀方式在带凹杯氮化铝陶瓷片表面依序形成一钛层以及一铜层；
（3）激光布线，利用激光在镀膜后的带凹杯氮化铝陶瓷片表面有选择地去除部分金属层，形成细微立体的线路图案；
（4）电镀加厚，在成形的立体线路图案上电镀铜加厚，形成铜线路；
（5）化学蚀刻，采用化学蚀刻方式去除氮化铝陶瓷表面除铜线路以外的钛层及铜层，在带凹杯氮化铝陶瓷片上获得细微立体导电线路层；
根据权利要求1所述的带凹杯LED氮化铝陶瓷支架的制备方法，其特征在于：所述带凹杯陶瓷片的主要成分为具有高导热系数的氮化铝陶瓷。
2.根据权利要求1所述的带凹杯LED氮化铝陶瓷支架的制备方法，其特征在于：步骤（2）中真空溅镀所形成的该钛层厚度为0.02～0.1μm；铜层厚度为0.5～1.0μm。
3.根据权利要求1所述的带凹杯LED氮化铝陶瓷支架的制备方法，其特征在于：进一步包括有以下步骤：
（7）镀镍，在前述陶瓷基板和铜线路的表面镀上镍层；
（8）镀金/银，在前述镍层的表面镀上金层或者银层。
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