[发明专利]一种碳化钛/氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法

权利要求书

1.一种碳化钛/氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法，叶轮基体3材料为25钢，其特征在于：涂层为纳米碳化钛和氮化钛，叶轮基体表面为氮化钛涂层1，叶轮基体3与氮化钛涂层1之间含有一层黏性碳化钛过渡层2。

2.根据权利要求1所述一种碳化钛/氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法，其特征在于：沉积方式为电弧离子镀沉积300~400nm的碳化钛过渡层，然后沉积厚度为400~500nm的氮化钛，具体步骤如下：

(1) 前处理：采用水砂纸将叶轮基体表面抛光，去除表面油污、锈迹等杂质，采用封闭式喷砂机对抛光后的叶轮基体进行喷砂粗化处理，并用流体抛光机抛光去除表面的磁性，然后依次放入酒精和丙酮中，在50~60℃的温度下超声波清洗各30min，放入烘箱干燥20min后迅速放入镀膜机，抽真空至5.0×10^-3Pa，加热至400℃，保温25~30min；

(2) 离子清洗：通氩气，其压力为2Pa，开启偏压电源，电压800V，占空比0.2，辉光放电清洗35min；降低偏压至600V，占空比0.2，开启离子源离子清洗25min，开启钛靶的电弧源，偏压400V，靶电流80A，离子轰击钛靶5min；

(3) 沉积碳化钛过渡层：氩气气压0.5Pa，偏压降至300V，沉积温度350℃，钛靶电流70A，碳靶电流80A，电弧镀碳化钛过渡层15min；

(4) 沉积氮化钛层，氩气气压0.5Pa，偏压200V，沉积温度300℃，钛靶电流90A，反应气体氮气压力为0.8Pa，电弧镀氮化钛层20min；

(5) 后处理：关闭各电源，离子源及气体源，涂层结束。