[发明专利]带有机载测定功能的加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，在工件加工时安装加工工具，包括生成驱动上述加工工具的相对于马达的移动指令的分配器，和检测上述马达的动作位置的位置检测器，还包括马达控制器，基于上述移动指令，该马达控制器被上述位置检测器的检测结果反馈，并且控制对应的马达，使得上述位置检测器的检测结果为规定的动作位置，其特征在于，

在仿形测定控制时，在该加工装置上取代加工工具而安装有能够测定相对于工件的相对距离的探针传感器，

在仿形测定控制时，阻断上述移动指令向上述马达控制器输入，另一方面，上述探针传感器的测定结果也向上述马达控制器反馈，以使上述探针传感器的测定结果为规定的距离，

在仿形测定控制时，上述位置检测器的检测结果与上述探针传感器的测定结果重叠后的信息作为工件的形状信息输出，

在仿形测定控制时，反馈控制成上述探针传感器向中立状态返回。

2.如权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

上述马达为Y轴马达，

上述位置检测器检测上述Y轴马达的动作位置，

上述马达控制器基于相对于上述Y轴马达的移动指令被上述位置检测器的检测结果反馈，并且将对应的上述Y轴马达控制成上述位置检测器的检测结果为规定的动作位置，

在仿形测定控制时，阻断相对于上述Y轴马达的移动指令向上述马达控制器输入，另一方面，上述探针传感器的测定结果也向上述马达控制器反馈，以使上述探针传感器的测定结果为规定的距离。

3.如权利要求2所述的加工装置，其特征在于，

通过持续朝向X轴方向以及/或者Z轴方向的移动实施仿形测定控制。

4.如权利要求1至3中任一项所述的加工装置，其特征在于，

工件是微型透镜阵列。

5.如权利要求1至3中任一项所述的加工装置，其特征在于，

工件是用于成形出微型透镜阵列的模具。

6.如权利要求1至3中任一项所述的加工装置，其特征在于，

上述探针传感器具有He－Ne激光测定机构。

7.如权利要求1至3中任一项所述的加工装置，其特征在于，

还包括加工补正部，基于输出的上述工件的形状信息对加工数据或者加工程序进行补正。

8.一种仿形测定控制方法，使用加工装置进行工件的仿形测定控制，该加工装置在工件加工时安装加工工具，包括生成驱动上述加工工具的相对于马达的移动指令的分配器，和检测上述马达的动作位置的位置检测器，还包括马达控制器，基于上述移动指令，该马达控制器被上述位置检测器的检测结果反馈，并且控制对应的马达，使得上述位置检测器的检测结果为规定的动作位置，其特征在于，包括：

在上述加工装置上取代加工工具而安装能够测定相对于工件的相对距离的探针传感器的工序；

阻断上述移动指令向上述马达控制器中输入，另一方面，上述探针传感器的测定结果也向上述马达控制器反馈，以使上述探针传感器的测定结果为规定的距离的工序；

将上述位置检测器的检测结果与上述探针传感器的测定结果重叠后的信息作为工件的形状信息输出的工序，

上述马达控制器被反馈控制成上述探针传感器向中立状态返回。

9.如权利要求8所述的仿形测定控制方法，其特征在于，

上述马达为Y轴马达，

上述位置检测器检测上述Y轴马达的动作位置，

上述马达控制器基于相对于上述Y轴马达的移动指令被上述位置检测器的检测结果反馈，并且控制对应的上述Y轴马达，使得上述位置检测器的检测结果为规定的动作位置，

在上述马达控制部中，被阻断的上述移动指令的输入是相对于上述Y轴马达的移动指令，上述探针传感器的测定结果被反馈，以使在X轴方向以及/或者Z轴方向的相对移动持续的期间，上述探针传感器的测定结果为规定的距离。