[发明专利]角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器（100），包括：

振动器（11），其位于由彼此正交的x方向和y方向规定的x-y平面中；

基板（12），其在垂直于所述x-y平面的z方向上与所述振动器（11）分离；

锚固装置（13），其从所述基板（12）延伸到所述振动器（11）所位于的所述x-y平面；

连接梁装置（14），其将所述锚固装置（13）与所述振动器（11）相连接，所述连接梁能够围绕y方向扭转；

激励部（50），其沿着z方向使所述振动器（11）振动；以及

检测部（70），其基于沿着所述振动器（11）的x方向的移位来检测角速度，

其中，

所述振动器（11）包括与所述连接梁装置（14）相连接的连接区域（P1），所述连接区域（P1）在所述振动器（11）沿着z方向振动时变成波节。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中：

所述振动器（11）包括上下锤（15）、连接到所述连接梁装置（14）的倾斜锤（16）以及将所述倾斜梁（16）连接到所述上下锤（15）的扭转梁（17），所述扭转连接梁能够围绕所述y方向扭转；

其中：

左侧和右侧分别称作从中心锤（16a）来看沿着x方向的两侧的一侧和另一侧，所述中心锤（16a）是所述倾斜锤（16）中的一个且位于所述振动器（11）的x方向的中心处；

单元锤部（18）被定义为包括一个上下锤（15）、紧挨着所述一个上下锤（15）的一个倾斜锤16以及将所述一个上下锤（15）与所述一个倾斜锤（16）相连接的扭转梁（17）；

所述振动器（11）包括：

在左侧的左单元锤（18a），其包括至少一个单元锤部（18），以及

在右侧的右单元锤（18b），其包括至少一个单元锤部（18）；

所述左单元锤（18a）的至少一个单元锤部（18）的数量和所述右单元锤（18b）的至少一个单元锤部（18）的数量彼此相等，以使得所述左单元锤（18a）和所述右单元锤（18b）沿着x方向布置且相对于所述振动器（11）的所述中心锤（16a）对称；

所述激励部（50）以反相分别振动所述左单元锤（18a）和所述右单元锤（18b）；并且

所述检测部（70）基于沿着所述左单元锤（18a）和所述右单元锤（18b）中的每一个的x方向的移位来检测角速度。

3.根据权利要求2所述的角速度传感器，其中：

所述激励部（50）包括：

第一驱动电极（51）和第二驱动电极（52），所述第一驱动电极（51）和所述第二驱动电极（52）形成在所述基板（12）中，以及

电压施加部（53），其将驱动电压施加到所述第一驱动电极（51）、所述第二驱动电极（52）以及所述振动器（11）；

所述第一驱动电极（51）和所述第二驱动电极（52）沿着z方向面对所述振动器（11）；并且

所述电压施加部（53）

将反相的交流电压作为驱动电压施加到所述第一驱动电极（51）和所述第二驱动电极（52），并且

将恒定电压作为驱动电压施加到所述振动器（11）。

4.根据权利要求3所述的角速度传感器，其中：

沿着x方向布置的所述第一驱动电极（51）中的一个和所述第二驱动电极（52）中的一个沿着z方向面对所述倾斜锤（16）中的一个。

5.根据权利要求4所述的角速度传感器，其中：

面对所述左单元锤（18a）的所述倾斜锤（16）的所述第一驱动电极（51）和面对所述右单元锤（18b）的所述倾斜锤（16）的所述第二驱动电极（52）沿着x方向布置并相对于所述振动器（11）的所述中心锤（16a）对称；并且

面对所述左单元锤（18a）的所述倾斜锤（16）的所述第二驱动电极（52）和面对所述右单元锤（18b）的所述倾斜锤（16）的所述第一驱动电极（51）沿着x方向布置并相对于所述振动器（11）的所述中心锤（16a）对称。

6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其中：

在所述振动器（11）中，所述倾斜锤（16）的沿着z方向面对所述第一驱动电极（51）的面对范围（R1）的形状和所述倾斜锤（16）的沿着z方向面对所述第二驱动电极（52）的面对范围（R2）的形状相对于贯穿方向（L1）各自对称，所述贯穿方向（L1）沿着x方向穿透所述单元锤部（18）中的每一个的中心。