[发明专利]一种柔性超薄玻璃的制备方法有效
| 申请号： | 201310078708.4 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN104045221A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 万青;郭立强;杨园园;竺立强;张洪亮;吴国栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C03B19/00 | 分类号： | C03B19/00;C03B18/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 超薄 玻璃 制备 方法 | ||
1.一种柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，采用化学气相沉积技术，具体包括如下步骤：
（1）将盛有金属锡的制模槽放入化学气相沉积系统的腔室中，调节腔室温度为300℃～600℃；
（2）利用化学气相沉积技术，在所述的金属锡的表面依次制备氮化硅层和二氧化硅层；
（3）抽取金属锡表面的氮化硅/二氧化硅层进行抛光处理，除去氮化硅层，即得到所述的柔性超薄玻璃。
2.根据权利要求1所述的柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，步骤（2）中利用化学气相沉积技术制备氮化硅层和二氧化硅层所采用的腔室压强为5～300Pa；射频功率为30～300W。
3.根据权利要求1所述的柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，步骤（2）中制备氮化硅层时，向腔室内通入氮源与硅源的流量比为5:1～1:1。
4.根据权利要求3所述的柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，所述的氮源为氨气，所述的硅源为三氯氢硅、四氯化硅、乙硅烷或硅烷。
5.根据权利要求1所述的柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，步骤（2）中制备二氧化硅层时，向腔室内通入氧源与硅源的流量比为6：1～2:1。
6.根据权利要求5所述的柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，所述的氧源为氧气，所述的硅源为三氯氢硅、四氯化硅、乙硅烷或硅烷。
7.一种柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，采用碎玻璃粉溶凝技术，具体包括如下步骤：
（1）将金属锡放入制模槽中加热到600℃～1400℃，得到熔融的锡溶液；
（2）将碎玻璃粉均匀地加入到所述的熔融的锡溶液中，调控碎玻璃粉的加入速率，使得加入后能即刻熔化成玻璃溶液；
（3）控制制模槽温度为280℃～400℃，使所述的玻璃溶液冷却至成固体；
（4）对步骤（3）得到的固体的玻璃进行抛光处理。
8.根据权利要求7所述的柔性超薄玻璃的制备方法，其特征在于，所述的碎玻璃粉的粒径为50nm～20μm。
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