[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，包括：

多个蒸镀源，给基板之上提供互不相同的蒸镀物质；

传感器单元，用于检测从所述多个蒸镀源喷射的所述蒸镀物质的蒸镀厚度；

主控制单元，用于控制所述传感器单元，

所述传感器单元包括多个传感器组，该多个传感器组分别对应于所述多个蒸镀源，且具有不同数量的传感器，

各个所述传感器组根据所述主控制单元的控制检测从对应的所述蒸镀源喷射到所述基板上的所述蒸镀物质的蒸镀厚度，

所述传感器单元包括布置有所述传感器组的多个传感器的旋转盘和分别与所述多个传感器对应地设置于所述旋转盘的多个电阻，

所述多个传感器组的多个传感器相隔相同的间距在所述旋转盘的下面被排列为圆形，所述多个电阻具有互不相同的电阻值，所述主控制单元通过识别所述多个电阻的电阻值来识别分别对应于所述多个电阻的所述多个传感器的原始号码。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述多个蒸镀源包括：

第一蒸镀源，将第一蒸镀物质提供给所述基板之上；

第二蒸镀源，将与第一蒸镀物质不同的其他物质构成的第二蒸镀物质提供给所述基板之上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述传感器组包括：

第一传感器组，用于测量从所述第一蒸镀源喷射到所述基板之上的所述第一蒸镀物质的蒸镀厚度；

第二传感器组，用于测量从所述第二蒸镀源喷射到所述基板上的所述第二蒸镀物质的蒸镀厚度。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述第一传感器组的所述传感器的数量与所述第二传感器组的所述传感器的数量的比率对应于所述第一蒸镀物质的使用量和所述第二蒸镀物质的使用量的比率。

5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，还包括用于支撑所述传感器单元的传感器支撑单元，

所述传感器支撑单元布置于所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源之间，所述传感器单元通过所述传感器支撑单元被布置在相对于所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上部。

6.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述传感器单元还包括收容有所述旋转盘的壳体、形成于所述壳体下面的感测孔、粘贴于所述壳体的下部且两端开口的第一传感器盖和第二传感器盖，

所述第一传感器盖和所述第二传感器盖的上端的开口部相互共享而与所述感测孔交迭。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其中，所述第一传感器盖和第二传感器盖的下端的开口部被布置为分别朝向各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源的上侧面。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其中，所述第一传感器盖和所述第二传感器分别形成从各自对应的所述第一蒸镀源和第二蒸镀源喷射的所述第一蒸镀物质和第二蒸镀物质的进入通道。

9.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其中，还包括蒸镀控制单元，该蒸镀控制单元在所述主控制单元的控制下运行所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源中的其中一个。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其中，所述第一蒸镀源和第二蒸镀源中的其中一个根据所述蒸镀控制单元而运行，且所述旋转盘在所述主控制单元的控制下旋转，从而与运行的所述蒸镀源对应的传感器组中的传感器中的其中一个传感器被布置于所述感测孔。

11.根据权利要求10所述的蒸镀装置，其中，当其中一个所述传感器达到使用寿命时，在所述主控制单元的控制下，所述旋转盘旋转而使另一个传感器布置在所述感测孔。

12.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述传感器单元还包括收容有旋转盘的壳体、形成于所述壳体下面的感测孔、粘贴于所述壳体的下部且两端开口的传感器盖，

所述传感器盖的上端的开口部与所述感测孔交迭。

13.根据权利要求12所述的蒸镀装置，其中，还包括在所述主控制单元的控制下运行所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源中的其中一个的蒸镀控制单元，

所述第一蒸镀源和第二蒸镀源中的其中一个根据所述蒸镀控制单元而运行，且所述旋转盘在所述主控制单元的控制下旋转，从而与运行的蒸镀源对应的传感器组中的传感器中的其中一个传感器被布置于所述感测孔。