[发明专利]暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201310074900.6 | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN104034071A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 宋斌斌;刘静;汪洪 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院;北京航玻新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | F24J2/48 | 分类号： | F24J2/48;B32B9/04;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 暗绿 太阳能 光谱 选择性 吸收 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
1.暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，包括：
基底层；
红外反射层，设于基底层的顶面；
吸收层，设于红外反射层的顶面，包括内吸收层、中吸收层和外吸收层，其中
内吸收层，设于红外反射层的顶面，由TiNx1Oy1制成，1.10＞x1＞0.90,0.70＞y1＞0.50；
中吸收层，设于内吸收层的顶面，由TiNx2Oy2制成，0.60＞x2＞0.50,1.30＞y2＞1.10；
外吸收层，设于中吸收层的顶面，由TiNx3Oy3制成，0.50＞x3＞0.40,1.40＞y3＞1.30；
减反射层，设于吸收层的顶面。
2.根据权利要求1所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，其中所述吸收层的厚度为30nm-130nm；其中内吸收层的厚度为10nm-30nm，中吸收层的厚度为10nm-50nm，外吸收层的厚度为10nm-50nm。
3.根据权利要求1所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，其中所述基底层由铝制成。
4.根据权利要求1所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，其中所述基底层的厚度为0.2-10mm。
5.根据权利要求1所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，其中所述的红外反射层的厚度为90-500nm。
6.根据权利要求1所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，其中所述减反射层的厚度为80-100nm。
7.根据权利要求1所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层，其特征在于，其中所述减反射层的材质为二氧化硅。
8.权利要求1-7任一权项所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
1）将基底层置于真空清洗室中，通入一定量的氩气，进行射频氩离子清洗；
2）在仅通入流量为50sccm氩气的条件下，以纯铝为靶材，采用磁控溅射法在上述清洗后的基底层上制备铝红外反射层；
3）将上述制得的红外反射层置于钛靶下，向真空室中通入流量为50sccm的氩气和8sccm的氮气，采用磁控溅射法在上述的红外反射层上制备内吸收层；然后通入流量为2-3sccm的氧气，继续以金属钛为靶材通过反应磁控溅射法在上述内吸收层上制备中吸收层；最后，将氩气和氮气分别增加至原来的两倍，并增加氧气流量至3-4sccm，继续以金属钛为靶材通过反应磁控溅射法在上述中吸收层上制备外吸收层；
4）将步骤3）得到的产品置于硅靶前，通入流量为50sccm氩气和15-30sccm的氧气，采用反应磁控溅射法在上述外吸收层上制备减反射层。
9.权利要求1-7任一权项所述的暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层在太阳能集热器上的应用，其中所述太阳能集热器为平板式太阳能集热器或真空管式太阳能集热器。
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