[发明专利]一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，包括立式罐一（1）、立式罐二（2）、收集罐（3）、进料管道（4）、出料管道（5）、反吹管道（6）、排污管道（7）、收集罐排气管道（14），其特征在于：所述进料管道（4）与立式罐一进料阀（8）和立式罐二进料阀（9）相连，所述出料管道（5）与立式罐一出料阀（10）和立式罐二出料阀（11）相连，所述排污管道（7）与收集罐（3）和立式罐一排污阀（12）及立式罐二排污阀（13）相连，所述反吹管道（6）与出料管道（5）和立式罐一反吹阀（18）及立式罐二反吹阀（19）相连，所述收集罐排气管道（14）与进料管道（4）相连，所述收集罐（3）底部设置有排泄阀（20）。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于：所述反吹管道（6）上设置有反吹泵（15），所述排污管道（7）上设置有排污泵（16）。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于：所述立式罐一（1）和立式罐二（2）内设置有过滤网（17）。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于：

所述过滤网（17）的目数为20-500目。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置，其特征在于：所述立式罐一（1）和立式罐二（2）的外壳材料为碳钢或者不锈钢。

6.一种权利要求1-6任一所述多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置的使用方法，其特征在于包括如下步骤：

第一步：首先打开立式罐一（1）的进料阀（8）和出料阀（10），关闭立式罐二（2）的进料阀（9）和出料阀（11），将还原炉尾气从进料管（4）导入到立式罐一（1）中，利用重力和过滤网（17）的作用，将大部分硅粉拦截在立式罐一（1）中，并沉积在立式罐一（1）底部；

第二步：将立式罐二（2）的进料阀（9）和出料阀（11）打开，并将立式罐一（1）的进料阀（8）和出料阀（10）关闭，然后打开反吹泵（15）和立式罐一（1）的反吹阀（18）对立式罐一（1）内部进行反吹，然后将反吹泵（15）和立式罐一（1）的反吹阀（18）关闭；

第三步：将立式罐一排污阀（12）和排污泵（16）打开，将沉积在立式罐一（1）底部的硅粉和液体物料一起泵入收集罐（3）中，然后对收集罐（3）进行加热，将收集罐（3）中的液体物料蒸发进入收集罐排气管道（14）中，进行回收利用；

第四步：收集罐（3）底部残留废料通过排泄阀（20）排出。