[发明专利]复合阻垢缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种复合阻垢缓蚀剂，其特征在于按照质量百分比，由以下原料制得：

聚羧酸                 22-28%

聚丙烯酸               30-35%

钼酸钠                 10-15%

烷基磺酸               1-5%

硫酸锌                 1.5-3%

去离子水               余量。

2.根据权利要求1所述的复合阻垢缓蚀剂，其特征在于各组分的质量百分比优选为：

聚羧酸                 25%

聚丙烯酸               33%

钼酸钠                 12%

烷基磺酸               3%

硫酸锌                 2%

去离子水               25%。

3.一种制备如权利要求1或2所述的复合阻垢缓蚀剂的方法，其特征在于包括如下步骤：往反应釜里依次加入去离子水、烷基磺酸、聚丙烯酸，搅拌溶解，升温至90℃，然后加入聚羧酸、钼酸钠、硫酸锌，搅拌3h即得到复合阻垢缓蚀剂。