[发明专利]细胞悬液浓度传感器无效
| 申请号： | 201310072268.1 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN103149135A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 惠国华;曾小燕;王盈盈;童春霞;尹芳缘 | 申请（专利权）人： | 浙江工商大学 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人： | 应圣义 |
| 地址： | 310035 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 细胞 浓度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1. 一种细胞悬液浓度传感器，其特征在于，包括：
金属外壳；
声表面波谐振器，真空封装于所述金属外壳中，所述声表面波谐振器采用ST切型石英作为压电基底材料，通过光刻工艺制备，发出的声表面波频率为433MHz；
丝网印刷碳电极，与所述声表面波谐振器相串联。
2. 根据权利要求1所述的细胞悬液浓度传感器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括：
压电基片，为ST切型石英；
叉指换能器，刻蚀于所述压电基片，叉指换能器发出433MHz的中心频率，周期节长度M=7.2μm，叉指宽度a=1.9μm，叉指间距b=1.7μm，指条对数N=100，声孔径W=720μm，叉指指条的铝条厚度H=200nm；
两个反射栅，分别刻蚀于所述叉指换能器的两侧，每侧的反射栅指条数目Nref=200，两侧的反射栅与叉指换能器之间的距离s=9.0μm；
两个吸声件，分别设置于所述两个反射栅远离所述叉指换能器的一侧。
3. 根据权利要求1所述的细胞悬液浓度传感器，其特征在于，所述声表面波谐振器是单端口声表面波谐振器。
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