[发明专利]用于生产硅锭的方法在审
| 申请号: | 201310070431.0 | 申请日: | 2013-03-06 |
| 公开(公告)号: | CN103305902A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
| 发明(设计)人: | D·奥利沃尔;M·特莱姆帕;C·赖曼 | 申请(专利权)人: | 太阳世界创新有限公司;弗朗霍夫应用科学研究促进协会 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 吴鹏;马江立 |
| 地址: | 德国萨*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 生产 方法 | ||
1.一种用于生产硅锭的方法,所述方法包括如下的步骤:
-提供用于接收熔融硅(3)的容器(2),所述容器具有
--垂直于轴向延伸的基壁(5),以及
--侧壁(6),
-提供至少一个扁平单晶籽晶(7),所述籽晶(7)具有从<110>、<100>和<111>取向的组中选出的轴向取向,
-在所述容器(2)的基壁(5)上设置所述至少一个籽晶(7),以及
-从所述至少一个籽晶(7)开始将所述容器(2)中的熔融硅(3)定向固化以形成硅锭,
-其中,所述至少一个籽晶(7)的轴向取向预先确定用于所述硅锭的轴向取向,以及
-其中,所述至少一个籽晶(7)以如下的方式构造和设置在所述容器(2)的基壁(5)上,使得避免在邻接所述侧壁(6)和延伸到所述容器(2)内部的边缘区域形成孪晶。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述容器(2)的基壁(5)上设置大量籽晶(7)。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以如下的方式设置所述籽晶(7),使得所述籽晶(7)整体在垂直于所述轴向的平面内具有总长为L的周边,该周边的所有如下部分的长度之和与该周边的总长之比至多为1:4:属于该部分的所述籽晶(7)的<111>晶面法线在上述平面中的投影垂直于最近的上切割缘(15)和侧壁(6)中的至少一个。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述籽晶(7)具有由切割缘(15,16)限定的至少一个籽晶切割面(13,14),所有外切割缘(15,16)各与{111}晶面和相应籽晶切割面(13,14)的切割线(19)成至少5°的角度。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所有所述籽晶(7)以如下的方式来设置,使得所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与籽晶(7)的所有切割缘(15)或侧壁(6)所成的角度在15°至75°的范围内。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<110>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度不等于0°。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<110>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度等于45°。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<110>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度不等于90°。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<100>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度不等于90°。
10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<100>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度等于45°。
11.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<111>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的至少一个所成的角度不等于90°并且也不等于0°。
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