[发明专利]用于生产硅锭的方法在审

专利信息
申请号: 201310070431.0 申请日: 2013-03-06
公开(公告)号: CN103305902A 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: D·奥利沃尔;M·特莱姆帕;C·赖曼 申请(专利权)人: 太阳世界创新有限公司;弗朗霍夫应用科学研究促进协会
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 吴鹏;马江立
地址: 德国萨*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 生产 方法
【权利要求书】:

1.一种用于生产硅锭的方法,所述方法包括如下的步骤:

-提供用于接收熔融硅(3)的容器(2),所述容器具有

--垂直于轴向延伸的基壁(5),以及

--侧壁(6),

-提供至少一个扁平单晶籽晶(7),所述籽晶(7)具有从<110>、<100>和<111>取向的组中选出的轴向取向,

-在所述容器(2)的基壁(5)上设置所述至少一个籽晶(7),以及

-从所述至少一个籽晶(7)开始将所述容器(2)中的熔融硅(3)定向固化以形成硅锭,

-其中,所述至少一个籽晶(7)的轴向取向预先确定用于所述硅锭的轴向取向,以及

-其中,所述至少一个籽晶(7)以如下的方式构造和设置在所述容器(2)的基壁(5)上,使得避免在邻接所述侧壁(6)和延伸到所述容器(2)内部的边缘区域形成孪晶。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述容器(2)的基壁(5)上设置大量籽晶(7)。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,以如下的方式设置所述籽晶(7),使得所述籽晶(7)整体在垂直于所述轴向的平面内具有总长为L的周边,该周边的所有如下部分的长度之和与该周边的总长之比至多为1:4:属于该部分的所述籽晶(7)的<111>晶面法线在上述平面中的投影垂直于最近的上切割缘(15)和侧壁(6)中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述籽晶(7)具有由切割缘(15,16)限定的至少一个籽晶切割面(13,14),所有外切割缘(15,16)各与{111}晶面和相应籽晶切割面(13,14)的切割线(19)成至少5°的角度。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所有所述籽晶(7)以如下的方式来设置,使得所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与籽晶(7)的所有切割缘(15)或侧壁(6)所成的角度在15°至75°的范围内。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<110>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度不等于0°。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<110>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度等于45°。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<110>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度不等于90°。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<100>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度不等于90°。

10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<100>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的一个所成的角度等于45°。

11.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,当使用轴向<111>取向时,所有所述籽晶(7)具有横向<110>取向,所述横向<110>取向与由籽晶(7)的所有外切割缘(15)和侧壁(6)组成的组中的至少一个所成的角度不等于90°并且也不等于0°。

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