[发明专利]等离子喷涂设备中的吸气阀

权利要求书

1.一种通过等离子处理喷涂容器(104)，例如一塑料瓶，的设备，包括至少一个用于向容器(104)内供应工艺气体的气体喷杆(103)，和至少一个用于从容器内部吸出空气的吸气阀(100)，其特征在于：吸气阀(100)具有至少一个用于接纳或引入至少一个气体喷杆至容器(104)中的凹槽(102)，例如居中设置的一个凹槽，且吸气阀(100)具有至少一个接地的、透气的电气屏蔽元件(101)，所述至少一个接地的，透气的电气屏蔽元件(101)几乎完全防止和/或抑制吸气阀内的等离子点火和/或燃烧。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：至少一个凹槽周围的、用于接纳或引入所述的至少一个气体喷杆的电气屏蔽元件具有一疏松多孔结构，其孔的平均孔径，例如在0.01毫米至6毫米之间，最好是在3毫米至4毫米之间。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于：电气屏蔽元件由金属泡沫，例如铝泡沫，制成，或由导电陶瓷泡沫，例如氧化铝/氮化钛，制成，或由具有碳素纤维的导电复合陶瓷制成，或由具有导电性的塑料或高分子泡沫材料制成，或由上述泡沫的组合制成。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：至少一个凹槽周围的、用于接纳或引入所述的至少一个气体喷杆的电气屏蔽元件具有至少一个网状的网格结构，其平均网眼直径，例如在0.01毫米至6毫米之间，最好在0.2毫米至0.5毫米之间。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：至少一个凹槽周围的、用于接纳或引入所述的至少一个气体喷杆的电气屏蔽元件包括同心设置的、具有若干径向中间间壁的壁，同心设置的壁的平均壁间距的范围，例如在0.01毫米至6毫米之间，最好是3毫米至4毫米之间，且径向中间间壁的平均距离，例如在0.01毫米至6毫米的范围之间，最好是在3毫米至4毫米之间。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：至少一个凹槽周围的、用于接纳或引入所述的至少一个气体喷杆的电气屏蔽元件具有一蜂窝状结构，其蜂窝管的平均蜂窝直径，例如在0.01毫米至6毫米的范围之间，最好是在3毫米至4毫米之间。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于：蜂窝管的平均长度大于蜂窝管的平均蜂窝直径，例如，蜂窝管的平均长度超过蜂窝管的平均蜂窝直径乘以一个系数：1.5、2.0、4.0、6.0、10.0或更大，最好是5到10。

8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于：蜂窝管的横截面具有正多边形的形状，例如三角形、四边形、五边形、六边形，凸面体和/或非凸面内壁状，星状多边形，环形，如圆形、椭圆形，或上述形状的组合。

9.根据权利要求1、4、5、6、7或8所述的设备，其特征在于：电气屏蔽元件由导电陶瓷，如氧化铝/氮化钛，制成，由具有碳素纤维的导电复合陶瓷制成，由金属，例如铝，制成，由具有导电性的塑料材料制成，或由上述材料的组合制成。

10.根据以上任一项权利要求所述的设备，其特征在于：抽吸时吸气阀的流动阻力等于或小于通过容器开口时的流动阻力。

11.根据以上任一项权利要求所述的设备，其特征在于：吸气阀配置为允许容器内部被抽至一所需的操作压力，例如在1至30帕之间，少于500毫秒之内。

12.根据以上任一项权利要求所述的设备，其特征在于：电气屏蔽元件的高度占吸气阀高度的至少10%、20%、30%或60%或更多。

13.根据以上任一项权利要求所述的设备，其特征在于：吸气阀包括多个电气屏蔽元件，且根据以上权利要求形成电气屏蔽元件的一组合，例如根据权利要求4的网格结构形成的第一部分以及根据权利要求2的疏松多孔的泡沫形成的第二部分。

14.一种通过等离子处理喷涂容器的方法，例如喷涂塑料瓶，包括：

引入一气体喷杆至容器内部，所述气体喷杆穿过位于容器开口处的吸气阀上的一凹槽，或者说由位于容器开口处的吸气阀上的一凹槽接纳，

抽吸容器内部至一操作压力，例如1至30帕，

通过气体喷杆向容器内部供应工艺气体，

通过化学气相沉积法对容器内部进行等离子增强喷涂，其中位于吸气阀上的一个或多个电气屏蔽元件几乎完全防止和/或抑制吸气阀内或不被喷涂区域内的等离子点火和/或燃烧。