[发明专利]铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液和铁电薄膜的形成方法有效
| 申请号： | 201310069009.3 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103360062A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 土井利浩;樱井英章;渡边敏昭;曾山信幸 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/49 | 分类号： | C04B35/49;C04B35/624 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 溶胶 凝胶 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液，其特征在于，
该溶胶-凝胶液含有PZT系化合物、含聚乙烯吡咯烷酮的粘度调整用高分子化合物及含甲酰胺系溶剂的有机掺杂剂，以氧化物换算计含17质量%以上的PZT系化合物，以单体换算计聚乙烯吡咯烷酮相对所述PZT系化合物的摩尔比为PZT系化合物:聚乙烯吡咯烷酮=1:0.1～0.5，溶胶-凝胶液中含3质量%～13质量%的甲酰胺系溶剂。
2.如权利要求1所述的铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液，其中，
所述甲酰胺系溶剂为甲酰胺、n-甲基甲酰胺或N,N-二甲基甲酰胺。
3.如权利要求1所述的铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液，其中，
所述聚乙烯吡咯烷酮的k值在30～90的范围内。
4.一种使用权利要求1～3中任一项所述的铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液形成铁电薄膜的方法。
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