[发明专利]滤波器装置、滤波器装置的制造方法和双工器

说明书

技术领域

本发明涉及搭载于便携电话等移动通信设备中的滤波器装置、滤波器装置的制造方法和双工器。

背景技术

近年来，在移动通信设备中，以信息传输速度的高速化为目的，期待双工器的小型化以及发送接收频率的高频化、宽带化。这里所说的双工器是具有如下作用的元件：在基于频分方式的通信系统中，为了利用一个天线共享发送接收而对发送接收的信号进行分支，该双工器由在发送侧和接收侧具有不同工作频率的多个滤波器构成。典型地，发送用滤波器和接收用滤波器使用机电耦合系数大、传播损失小的声表面波（SAW：Surface Acoustic Wave）滤波器。

现有的双工器由于在不同基板上制作发送用滤波器和接收用滤波器，因此，难以实现小型化和制造工序的简便化。因此，近年来，已报告在同一基板上制作发送用滤波器和接收用滤波器的手法（例如参照下述专利文献1）。

另一方面，搭载于同一基板上的发送侧的SAW滤波器和接收侧的SAW滤波器分别利用相同振动模式的谐振现象，因此，相互间的振动干涉，存在绝缘特性降低的问题。为了解决该问题，例如，已提出在发送接收滤波器间形成槽、扩大发送接收滤波器间的间隙、或对电路结构下工夫的手法（例如参照下述专利文献2）。

【专利文献1】日本特开2001-308681号公报

【专利文献2】日本特开2002-330057号公报

但是，在发送接收滤波器间形成槽的手法、扩大发送接收滤波器间的间隙的手法将导致基板尺寸的大型化，因此，难以实现元件的小型化。

发明内容

鉴于以上情况，本发明的目的在于，提供能够确保良好的绝缘特性并实现小型化的滤波器装置、滤波器装置的制造方法和双工器。

为了实现上述目的，本发明的一个方式的滤波器装置具有第1滤波器、第2滤波器以及支承基板。

上述第1滤波器包括构成为以第1振动模式谐振的第1弹性波谐振器。

上述第2滤波器包括构成为以与上述第1振动模式不同的第2振动模式谐振的第2弹性波谐振器。

上述支承基板共同支承上述第1滤波器和上述第2滤波器。

本发明的另一个方式的滤波器装置具有支承基板、第1滤波器以及第2滤波器。

上述支承基板具有第1区域和形成在与上述第1区域相同的平面上的第2区域。

上述第1滤波器形成在上述第1区域内，包括构成为以第1振动模式谐振的第1弹性波谐振器。

上述第2滤波器形成在上述第2区域内，包括构成为以与上述第1振动模式不同的第2振动模式谐振的第2弹性波谐振器。

在本发明的一个方式的滤波器装置的制造方法中，

在支承基板的第1面形成构图为规定形状的第1电极层，

在上述第1电极层和上述第1面上形成压电层，

在上述压电层中的形成在上述第1电极层上的第1压电层部上形成与上述第1电极层相对的第2电极层，

在上述压电层中的形成在上述第1面上的第2压电层部上形成梳状的第3电极层，

在上述支承基板的与上述第1面相对的第2面形成与上述第1电极层相对的第1腔部和与上述第2压电层部相对的第2腔部。

在本发明的另一个方式的滤波器装置的制造方法中，

在压电基板的第1面形成构图为规定形状的第1电极层，

在上述第1面，隔着上述第1电极层接合支承基板，

在上述压电基板的与上述第1面相对的第2面，形成隔着上述压电基板而与上述第1电极层相对的第2电极层和隔着上述压电基板而与上述支承基板相对的梳状的第3电极层，

在上述支承基板形成与上述第1电极层相对的第1腔部和隔着上述压电基板而与上述第3电极层相对的第2腔部。

本发明的一个方式的双工器具有发送用的第1滤波器、接收用的第2滤波器以及支承基板。

上述第1滤波器包括构成为以第1振动模式谐振的第1弹性波谐振器。

上述第2滤波器包括构成为以与上述第1振动模式不同的第2振动模式谐振的第2弹性波谐振器。

上述支承基板共同支承上述第1滤波器和上述第2滤波器。

附图说明

图1是示出本发明的一个实施方式的双工器的结构的框图。

图2是示出梯型滤波器的一例的电路图。

图3是示出双工器的频率特性的概略图。

图4是示出本发明的一个实施方式的发送接收滤波器（滤波器装置）的结构的概略剖视图。

图5是示出上述发送接收滤波器的结构的概略俯视图。