[发明专利]一种MEMS温度补偿式微波功率检测装置

权利要求书

1.一种MEMS温度补偿式微波功率检测装置，其特征在于，包括功率分配器(16)、微波功率传感器三(C)、温度补偿模块以及运算电路；

所述功率分配器(16)将输入微波功率的三分之一分配给微波功率传感器三(C)，输入微波功率的三分之二分配给温度补偿模块；

温度补偿模块通过运算电路对微波功率传感器三(C)的输出电压进行温度补偿。

2.根据权利要求1所述的MEMS温度补偿式微波功率检测装置，其特征在于，所述温度补偿模块包括微波功率传感器二(B)，和被隔离环(1)包围的微波功率传感器一(A)；微波功率传感器一(A)和微波功率传感器二(B)各输入三分之一的输入微波功率；微波功率传感器一(A)、微波功率传感器二(B)和微波功率传感器三(C)均输出到运算电路。

3.根据权利要求2所述的MEMS温度补偿式微波功率检测装置，其特征在于，所述运算电路包括对微波功率传感器一(A)和微波功率传感器二(B)输出电压求差的减法器，将减法器输出电压与微波功率传感器三(C)相加的加法器，对加法器输出信号乘以三的乘法器。