[发明专利]激光装置

说明书

技术领域

本发明涉及分割从激光振荡器振荡的激光并照射到工件上的激光装置。

背景技术

激光装置用于例如热交换器的冷却风扇或珠宝饰品的微小部件等的焊接上，近年来，对应用于电子部件向印刷电路板的软钎焊进行了研究。

在激光软钎焊的领域中，已知有使用分割单元将一个激光分割为两个分割激光，并将这些分割激光的各个聚光照射到工件的规定位置的技术思想（例如参照专利文献1～3）。

在使用激光进行焊接或软钎焊等的场合，为了与多种工件对应，期望能容易地调整分割激光的光量比及工件的分割激光的射线间隔。

例如，在专利文献4中，公开了下述激光加工装置：通过能旋转且能移动地配设将一个抛物面反射镜分割为一半而形成的分割抛物面反射镜的各个，能够调整分割激光的光量比及射线间隔。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平7-211424号公报

专利文献2：日本特开2007-289980号公报

专利文献3：日本特开2011-56520号公报

专利文献4：日本特开平4-182087号公报

但是，在上述专利文献4那样的现有技术中，由于使用作为专用品（特殊品）的分割抛物面反射镜，因此存在激光加工装置的成本升高之类的问题。另外，在想要改变焦点距离的场合，需要更换各分割抛物面反射镜，有可能成本进一步升高。

发明内容

本发明是考虑这种课题而完成的，其目的在于提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。

（1）本发明的激光装置具备使激光振荡的激光振荡器、将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜、将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，该激光装置的特征在于，多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态配设的可动反射镜。

根据本发明的激光装置，能够在以改变上述激光相对于反射镜的入射量的方式进退的状态下配设将激光分割为多个分割激光的多个反射镜的至少一个。在该场合，能够以只使该反射镜进退就能容易地调整多个分割激光的光量比。另外，能够在以能改变由该反射镜反射的分割激光相对于聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态下配设多个上述反射镜的至少一个。在该场合，能够只通过使该反射镜倾斜运动就能容易地调整多个分割激光在工件中的射线间隔。另外，由于不是分割抛物面反射镜那样的特殊品，能够使用普通的反射镜及聚光镜，因此能够实现激光装置的成本的低廉化。另外，即使是想要改变焦点距离的场合，也能够只通过更换上述聚光镜来实现，因此能够适当抑制成本升高。

（2）在上述激光装置中，各上述反射镜构成为具有与上述激光的波长不同的波长的光能通过，上述激光装置还具备图像摄影单元，该图像摄影单元通过接受从上述工件导入并通过了各上述反射镜的上述光来对该工件进行摄影。

根据这种结构，由于具备通过接受从工件导入并通过了各反射镜的光而对该工件进行摄影的图像摄影单元，因此能够比较近地配置图像摄影单元与多个反射镜。由此，能使激光装置紧凑。另外，因为能够使用作为常用品的反射镜（例如平面反射镜），因此即使是接受通过了各反射镜的上述光并对工件进行摄影的场合，也能够适当地抑制摄影所得的图像的紊乱。

（3）在上述激光装置中，多个上述反射镜的一个可以是以相对于上述聚光镜的相对部位不会改变的方式配设的固定反射镜。

根据这种结构，由于多个反射镜的一个是固定反射镜，因此与使全部的反射镜为可动反射镜的场合相比，能够减少用于使反射镜可动的部件。由此，能够进一步实现激光装置的低廉化。

（4）在上述激光装置中，上述固定反射镜构成为具有红外区域的波长的红外光能通过，上述激光装置还具备温度测定单元，该温度测定单元通过接受从上述工件导入并通过了上述固定反射镜的上述红外光来测定该工件的温度。

根据这种结构，由于具备通过接受从工件导入并通过了固定反射镜的红外光而测定该工件的温度的温度测定单元，因此能够比较近地配置温度测定单元与多个反射镜。由此能够使激光装置紧凑。另外，由于接受不是通过可动反射镜而是通过固定反射镜的红外光，因此即使使可动反射镜倾斜运动，该红外光相对于温度测定单元的照射位置也不会移动。由此，能够可靠地测定工件的温度。