[发明专利]一种镀钯镀金的双镀层键合铜丝的制造方法有效

专利信息
申请号: 201310066294.3 申请日: 2013-03-01
公开(公告)号: CN103219249A 公开(公告)日: 2013-07-24
发明(设计)人: 吕燕翔;居勤坤;史仁龙;万传友;彭芳美;周国忠 申请(专利权)人: 溧阳市虹翔机械制造有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/49;C22C9/02;C25D5/10;C25D3/44;C25D3/50;C25D5/50;C21D8/06
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人: 朱戈胜
地址: 213351 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀金 镀层 铜丝 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种双镀层键合铜丝的制造方法,该方法以先后次序依次包括如下步骤:

(1)在高纯铜中加入微量金属元素锡、镁和铝,以制得铜芯;

(2)在所述铜芯的表面上电镀金属钯,已形成镀钯导电层;

(3)在镀钯导电层的表面上电镀金属金,以形成镀金导电层;

(4)对完成镀钯和镀金后的铜丝进行清洗,以形成具有镀钯导电层和镀金导电层的双镀层键合铜丝。

2.一种双镀层键合铜丝的制造方法,该方法以先后次序依次包括如下步骤:

(1)以最终制得的含有镀钯层和镀金层的双镀层键合铜丝为100重量份计,即100wt%计,将92.6~93.8wt%的纯度大于99.9995%的高纯铜置入熔炼炉熔化,并加入0.5wt%的锡、0.3wt%的镁、0.2wt%的铝,经过单晶熔炼拉伸成铜芯,铜芯的直径大约为8mm,并且该铜芯的纵向和横向晶粒数均为1个;

(2)将所述铜芯进行粗拔以制得直径大约为3-4mm的铜丝后,对所述铜丝进行退火,退火温度大约为450-500摄氏度,退火时间大约为20-60分钟,退火后进行水冷;

(3)电镀纯钯导电层:在退火后铜芯表面上电镀2.7~5.4wt%的纯钯,以形成纯钯导电层,所述纯钯的纯度大于99.99%;

(4)第一次精拔:将完成步骤(3)的电镀有纯钯导电层的铜丝,精拔成直径大约为1-2mm的镀钯铜丝;

(5)第一次热退火:对完成步骤(4)的镀钯铜丝进行热退火,其中热退火温度大约为450-500摄氏度,时间大约为20-60分钟;

(6)电镀纯金导电层:在镀钯铜丝的表面上电镀1~2.5wt%的纯金,以形成纯金导电层,所述纯金的纯度大于99.99%;

(7)第二次精拔:将完成步骤(5)的铜丝精拔成直径大约为15-25微米的双镀层键合铜丝;

(8)第二次热退火:对完成步骤(6)的双镀层键合铜丝进行热退火,其中热退火温度大约为450-500摄氏度,时间大约为20-60分钟;

(9)清洗:对完成步骤(7)的双镀层键合铜丝进行表面清洗,采用酸性溶液先对其进行一次清洗,然后采用去离子水进行二次清洗;

(10)将清洗干净的镀金键合铜丝烘干。

其中,步骤(4)中优选的直径大小为1.5mm,步骤(5)和(8)中优选的热退火温度大约为480摄氏度,时间大约为30分钟。

3.如权利要求2所述的双镀层键合铜丝,其特征在于:

所述高纯铜的纯度大于99.9995%,以所述双镀层键合铜丝为100重量份,即100wt%计,其中铜芯中纯铜的含量为92.6~93.8wt%,微量元素总体含量为1wt%,纯钯导电层的含量为2.7~5.4wt%,纯金导电层的含量为1~2.5wt%。

4.如权利要求2-3任意之一所述的双镀层键合铜丝,其特征在于:

所述微量金属元素的总含量为1wt%,包括0.5wt%的锡、0.3wt%的镁以及0.2wt%的铝。

5.如权利要求2-4任意之一所述的双镀层键合铜丝,其特征在于:

所述纯钯的纯度大于99.99%,所述纯金的纯度大于99.99%。

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