[发明专利]一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统

权利要求书

1.一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统，其特征在于，该系统包括半导体激光器线阵（1）、第一透镜（2）、达曼光栅（3）、第二透镜（4）、光阑（5）、第三透镜（6）、闪耀光栅（7）和光栅旋转装置（8）；第二透镜（4）、光阑（5）和第三透镜（6）组成空间滤波器，闪耀光栅（7）固定在光栅旋转装置（8）上；半导体激光器线阵（1）发出的一组平行激光束经第一透镜（2）会聚到达曼光栅（3），达曼光栅（3）对光束合成，空间滤波器将合成光束中的0阶光滤出，并作为1级入射光与闪耀光栅（7）组成利特罗结构，1级方向反射光沿原光路反馈到达曼光栅（3），经达曼光栅（3）分束后注入到半导体激光器线阵（1）的各发光单元中，对波长与相位共同锁定，实现相干合束。

2.根据权利要求1所述的一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统，其特征在于：所述半导体激光器线阵（1）为F-P半导体激光器线阵，各发光单元等间距排列；激射光的线偏振方向沿着外延方向，或者垂直于外延方向并加上半波片将偏振方向旋转90度；半导体激光器线阵（1）的后腔面镀有高反膜，前腔面镀有增透膜，发光端面粘合一维准直微透镜阵列。

3.根据权利要求1所述的一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统，其特征在于：所述半导体激光器线阵（1）由多只单管半导体激光器构成。

4.根据权利要求1所述的一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统，其特征在于：所述达曼光栅（3）为一维周期结构，分束比与半导体激光器线阵（1）的发光单元数匹配，并且为等功率等分束角度设计。

5.根据权利要求1所述的一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统，其特征在于：所述闪耀光栅（7）的一级闪耀波长与半导体激光器线阵（1）的激射波长相匹配，或者在半导体激光器线阵（1）的增益谱范围内。

6.根据权利要求1所述的一种基于双光栅的波长可调谐激光相干合束系统，其特征在于：所述光栅旋转装置（8）包括压电陶瓷旋转基座和控制电路，控制电路与压电陶瓷旋转基座相连，其用于给压电陶瓷旋转基座提供电源，并通过微调电压使压电陶瓷旋转基座协同闪耀光栅（7）一起旋转，从而实现入射闪耀光栅（7）的光束角度的微调。