[发明专利]一种紫外光源均光装置

权利要求书

1.一种紫外光源均光装置，其特征在于包括：

复数个漫射器，驱动单元；

每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；

所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。

2.根据权利要求1所述的一种紫外光源均光装置，其特征在于，所述复数个漫射器连续覆盖在110nm-400nm的紫外-真空紫外波段。

3.根据权利要求2所述的一种紫外光源均光装置，其特征在于，所述复数个漫射器包括3个漫射器，所述3个漫射器覆盖的波段分别为110nm～130nm、130nm～200nm和200nm～400nm。

4.根据权利要求3所述的一种紫外光源均光装置，其特征在于，所述漫射器一面为平面的漫射面，另一面为抛光的凸面；或者所述平面为抛光面，所述凸面为漫射面；或者平面和凸面均为漫射面。

5.根据权利要求3所述的一种紫外光源均光装置，其特征在于，所述3个漫射器中的第一漫射器工作波段为110nm～130nm，材料为氟化锂单晶，其凸面的曲率半径为81.56mm，整体厚度为4±0.1mm，通光口径为26mm，焦距数为9；

第二漫射器工作波段为130nm～200nm，材料为氟化钙单晶，其凸面的曲率半径为77.35mm，整体厚度为4±0.1mm，通光口径为26mm，F数为9；

第三漫射器工作波段为200nm～400nm，材料为氟化钙单晶，其凸面的曲率半径为168.31mm，整体厚度为6±0.1mm，通光口径为64mm，F数为9。