[发明专利]一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统

权利要求书

1.一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，

包括壳体，复数个准直透镜或复数个会聚透镜；

复数个准直透镜或所述复数个会聚透镜安装于所述壳体中，当进行探测器真空紫外相对光谱响应率校准时，所述复数个准直透镜中的特定准直透镜将110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源变为平行光发送给所述探测器；当进行光源真空紫外光谱辐照度校准时，所述复数个会聚透镜中的特定会聚透镜将经过漫射器的110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源会聚输出至标准探测器，其中经过特定漫射器对特定波段的紫外光源进行均光。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，所述复数个准直透镜包括3个准直透镜，其中：

第一准直透镜，两个表面半径依次R∞，-213.28mm，厚度为6±0.1mm，两表面通光口径均为φ64mm，光学材料为氟化锂晶体，将110nm至130nm波段范围的紫外光源变为平行光；第二准直透镜，两个表面半径依次为R∞，-192.25mm，厚度为6±0.1mm，两表面通光口径均为φ64mm，光学材料为氟化钙晶体，将130nm至200nm波段范围的紫外光源变为平行光；第三准直透镜，两个表面半径依次为R∞，-168.31mm，厚度为6±0.1mm，两表面通光口径均为φ64mm，光学材料为氟化钙晶体，将200nm至400nm波段范围的紫外光源变为平行光。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，所述复数个会聚透镜包括4个会聚透镜，其中：

第一会聚透镜，两个表面半径依次为281.5mm，-138.6mm，厚度为16±0.1mm，两表面通光口径均为φ94mm，光学材料为氟化锂晶体，将经过漫射器的110nm至130nm波段的紫外光源会聚输出；第二会聚透镜，两个表面半径依次为234mm，-144.6mm，厚度为17±0.1mm，两表面通光口径均为φ94mm，光学材料为氟化钙晶体，将经过漫射器的130nm至150nm波段的紫外光源会聚输出；第三会聚透镜，两个表面半径依次为206.2mm，-133.7mm，厚度为18±0.1mm，两表面通光口径均为φ94mm，光学材料为氟化钙晶体，将经过漫射器的150nm至200nm波段的紫外光源会聚输出；第四会聚透镜，两个表面半径依次为180mm，125.7mm，厚度为19±0.1mm，两表面通光口径均为φ94mm，光学材料为氟化钙晶体，将经过漫射器的200nm至400nm波段的紫外光源会聚输出。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，对于点光源的紫外光源，所述漫射器为3个，所述3个漫射器中的第一漫射器对应于110nm～130nm波段范围的紫外光源，材料为氟化锂单晶，其凸面的曲率半径为81.56mm，整体厚度为4±0.1mm，通光口径为26mm，焦距数为9；

第二漫射器对应于130nm～200nm波段范围的紫外光源，材料为氟化钙单晶，其凸面的曲率半径为77.35mm，整体厚度为4±0.1mm，通光口径为26mm，F数为9；

第三漫射器对应于200nm～400nm波段范围的紫外光源，材料为氟化钙单晶，其凸面的曲率半径为168.31mm，整体厚度为6±0.1mm，通光口径为64mm，F数为9。

5.根据权利要求3所述的一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，对于面光源的紫外光源，所述漫射器为3个，所述3个漫射器中的第一漫射器为对应于110nm～130nm波段范围紫外光源的毛玻璃；

第二漫射器为对应于130nm～200nm波段范围紫外光源的毛玻璃；

第三漫射器为对应于200nm～400nm波段范围紫外光源的毛玻璃。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其特征在于，所述壳体为铝合金材质。