[发明专利]半导体制造控制方法

权利要求书

1.一种半导体制造控制方法，应用于实时派工系统中，该方法包括：预先在实时派工系统中建立实时派工数据库，该数据库包括：开始站点和结束站点参数；该方法还包括：

A、一批在制品到达虚拟站点后，从制造执行系统中获取该虚拟站点中设定队列时间的信息，确定虚拟站点中包含设定队列时间信息；

B、从制造执行系统中获取该批在制品的开始站点和结束站点；

C、与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点值，则判断该批在制品是否满足跳站条件，如果满足，则指示制造执行系统跳过虚拟站点执行后续站点工序。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述实时派工数据库还包括：结束站点的产能，以及从开始站点到结束站点的安全系数，当虚拟站点中的设定队列时间为最大允许等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为：根据结束站点的产能、设定队列时间以及从开始站点到结束站点的安全系数，计算安全存量，如果安全存量超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品满足跳站条件。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，如果安全存量未超过从开始站点到结束站点上的在制品总量，则确认该批在制品不满足跳站条件，流程结束。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述安全存量为结束站点的产能*设定队列时间*从开始站点到结束站点的安全系数；所述“*”表示乘号。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述从开始站点到结束站点上的在制品总量的获取方法为：从制造执行系统上获取从开始站点到结束站点每个站点上的在制品量，并计算每个站点上的在制品量的和。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述结束站点的产能为该站点所有机台和的单位时间产能。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当虚拟站点中的设定队列时间为最小等待时间时，则步骤C中判断该批在制品是否满足跳站条件的方法为：判断实际等待时间是否大于设定队列时间，如果大于，则确认该批在制品满足跳站条件；所述实际等待时间为从制造执行系统上获取的开始站点开始工作的最小实际等待时间。

8.如权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，该方法进一步包括：当制造执行系统的虚拟站点中不包含设定队列时间的信息时，则流程结束。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述实时派工数据库还包括产品型号，在步骤A和步骤B之间，该方法进一步包括：从制造执行系统获取该批在制品对应的产品型号，与实时派工数据库进行比较，如果实时派工数据库中包含与该批在制品对应的产品型号，则执行步骤B，否则流程结束。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，该方法进一步包括：如果实时派工数据库中不包含与该批在制品对应的开始站点和结束站点，则流程结束。