[发明专利]激光加工装置

说明书

技术领域

本发明涉及激光加工装置，尤其是涉及在进行薄膜太阳能电池板的除边时使用的合适的激光加工装置。

背景技术

目前，薄膜太阳能电池板（以下也简称为面板）的制造一般按P1工序、P2工序、P3工序、P4工序的顺序进行。

在P1工序中，在玻璃制的透明基板上形成例如由透明导电性氧化物（TCO）构成的透明电极层，使用激光进行透明电极层的构图。

在P2工序中，在透明电极层上形成例如由非晶硅（a－Si）构成的半导体层，使用激光进行半导体层的构图。

在P3工序中，在半导体层上形成例如由Ag电极构成的背面电极层，使用激光进行背面电极层的构图。

通过以上的工序，在面板的外周部的除周缘区域以外的区域（以下称为集成电池区域）生成电气串联连接的多个光电变换电池。另外，周缘区域为用于确保与周围（例如，邻接的其它薄膜太阳能电池板）间的电绝缘，或将面板安装于框架等的区域。

在P4工序中，在集成电池区域的周围，使用激光形成贯通透明电极层、半导体层、背面电极层的外周分离槽，进行将集成电池区域和周缘区域电绝缘的边缘绝缘。

另外，近年来，为了进一步强化电绝缘性，有时在P3工序或P4工序后进行除边（例如，参照专利文献1）。

在此，参照图1及图2对除边进行简单说明。另外，图1是从背面电极侧观察到的进行了除边后的薄膜太阳能电池板1的示意图。另外，图2的上图是进行除边前的薄膜太阳能电池板1的外周附近的截面的示意图，下图是进行了除边后的薄膜太阳能电池板的同一位置的截面的示意图。

在除边的工序中，在薄膜太阳能电池板的包围集成电池区域11（图1的斜线部分）的规定宽度（例如10～13mm）的周缘区域12，从透明基板1A侧照射激光，将透明电极层1B、半导体层1C及背面电极层1D从透明基板1A剥离。由此，从周缘区域12将透明电极层1B乃至背面电极层1D除去，仅剩下透明基板1A。

在该除边的工序中，通过从周缘区域12将透明电极层1B乃至背面电极层1D除去而产生加工屑，故而需要实施用于防止加工屑的扩散的对策。

另一方面，目前提案有在激光加工装置上设置推拉式的集尘器（例如，参照专利文献2）。具体而言，提案有在加工台内的一端设置送风口，在相对的一端设置吸气口，通过从送风口朝向吸气口的空气流动，将在加工台内被除去的加工屑从吸气口吸入，并通过过滤器除去。

专利文献1：（日本）特开2011－61153号公报

专利文献2：（日本）特开2005－144454号公报

但是，在专利文献2记载的发明中，没有设想如除边那样地对加工对象的周缘区域进行加工，故而设想不能充分发挥集尘效果。

发明内容

本发明是鉴于这样的状况而设立的，其目的在于能够防止由于加工加工对象的周缘区域而产生的加工屑的扩散。

本发明第一方面提供一种激光加工装置，对矩形的加工对象的周缘区域进行加工，其具备：集尘槽，其在将所述加工对象设置于规定位置的状态下，在所述加工对象的下方以沿所述周缘区域的方式设为口字形，用于收集由于加工所述周缘区域而产生的加工屑；集尘管，其用于将收集在所述集尘槽中的所述加工屑排出。

在本发明第一方面的激光加工装置中，由于加工矩形的加工对象的周缘区域而产生的加工屑被收集在集尘槽中，将收集在集尘槽中的加工屑从集尘管排出。

因此，能够防止由于对加工对象的周缘区域进行加工而产生的加工屑的扩散。

该加工对象例如由薄膜太阳能电池板构成。该激光加工装置例如由进行薄膜太阳能电池板的除边的激光加工装置构成。

在该激光加工装置中，还具备：一对传送带，其分别支承所述加工对象的平行于搬送方向的两端，将所述加工对象向所述搬送方向搬送；支承部件，其在所述规定位置支承所述加工对象，在通过所述支承部件支承所述加工对象时，扩大所述一对传送带间的间隔及所述集尘槽的外壁中与所述搬送方向平行的外壁间的间隔，使所述传送带及与所述搬送方向平行的外壁从所述加工对象的正下方向外侧移动。

由此，能够防止通过激光对传送带的零件造成损伤。另外，能够进一步可靠地防止加工屑的扩散。

在该激光加工装置中，能够使集尘槽的平行于搬送方向的外壁与传送带一体地进行移动。

由此，能够设置一个使集尘槽的外壁和传送带移动的机构。

在该激光加工装置中，能够使该集尘槽的除平行于搬送方向的外壁以外的部分上下移动。

由此，能够使集尘槽接近加工对象，能够更加可靠地防止加工屑的扩散。