[发明专利]一种轴快流激光器自混气供气系统

权利要求书

1.一种轴快流激光器自混气供气系统，其特征在于，该系统包括：

混气瓶，其进气口与所述轴快流激光器工作所需气体的各组分气体的储气瓶的出气口连接；

缓冲气瓶，其进气口经由第一开关装置与所述混气瓶的出气口连接，出气口与所述轴快流激光器连接；

第一压力检测装置，用于检测所述缓冲气瓶中的气压；以及

控制装置，与所述第一压力检测装置及第一开关装置连接，用于在所述缓冲气瓶中的气压低于第一预设值的情况下，控制所述各组分气体向所述混气瓶输入以形成所需气体，并控制所述混气瓶中的气体向所述缓冲气瓶的输入。

2.根据权利要求1所述的供气系统，其特征在于，

所述混气瓶的进气口经由多个第二开关装置分别与多个所述储气瓶连接，每一储气瓶储存有所述混合气体的一组分气体；

所述控制装置还与所述多个第二开关装置相连，用于在所述缓冲气瓶中的气压低于第一预设值时，控制所述第一开关装置断开，依次控制所述多个第二开关装置闭合，以在所述混气瓶内进行混气，在混气结束之后，控制所述多个第二开关装置断开，控制所述第一开关装置闭合，以控制所述混气瓶中的气体输入至所述缓冲气瓶。

3.根据权利要求2所述的供气系统，其特征在于，

该系统还包括用于检测所述混气瓶中的气压的第二压力检测装置；

所述控制装置还与所述第二压力检测装置相连，用于：

计算所述混气瓶中的气压P0与目标气压值之间的差值ΔP；

根据所述各组分气体的比例和ΔP，计算所需各组分气体的气压值；以及

根据所需各组分气体的气压值，依次控制所述多个第二开关装置，以依次输入各组分气体。

4.根据权利要求3所述的供气系统，其特征在于，所述第一压力检测装置及第二压力检测装置为一安装于所述混气瓶中的压力检测装置。

5.根据权利要求3所述的供气系统，其特征在于，所述第一压力检测装置及第二压力检测装置为压力变送器。

6.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的供气系统，所述缓冲气瓶的出气口通过电磁阀和稳流阀与所述轴快流激光器连接。

7.根据权利要求6所述的供气系统，其特征在于，所述控制装置与所述电磁阀和所述稳流阀相连。

8.根据权利要求3-6中的任一项权利要求所述的供气系统，其特征在于，所述第一开关装置及所述多个第二开关装置为电磁阀。