[发明专利]一种基于柔性基板的无源无线压力传感器有效
| 申请号： | 201310060979.7 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103148970A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;张聪;王立峰;佘德群 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 无源 无线 压力传感器 | ||
1.一种基于柔性基板的无源无线压力传感器，其特征在于，该压力传感器包括从上向下依次布置且固定连接的上金属层（1）、上柔性基板（2）、中柔性基板（3）、下柔性基板（4）和下金属层（5），上柔性基板（2）、中柔性基板（3）和下柔性基板（4）上设有相通的电气通孔，中柔性基板（3）上设有空腔（7）；
所述的上金属层（1）包括平面电感线圈（9）和位于平面电感线圈（9）中间的电容上极板（8），且平面电感线圈（9）的内侧连接头（10）和电容上极板（8）连接；
所述的下金属层（5）包括与电容上极板（8）尺寸相同且位置相对的电容下极板（12），以及与电容下极板（12）连接的互连线（13）；
所述的上金属层（1）的平面电感线圈（9）的外侧连接头（11）通过位于电气通孔中的导电介质柱（6）与下金属层（5）的互连线（13）连接，中柔性基板（3）的空腔（7）位于电容上极板（8）和电容下极板（12）之间。
2.按照权利要求1所述的基于柔性基板的无源无线压力传感器，其特征在于，所述的空腔（7）位于中柔性基板（3）的中部。
3.按照权利要求1所述的基于柔性基板的无源无线压力传感器，其特征在于，所述的上柔性基板（2）、中柔性基板（3）和下柔性基板（4）具有相同的尺寸。
4.按照权利要求1所述的基于柔性基板的无源无线压力传感器，其特征在于，所述的上金属层（1）的厚度为10—20微米，下金属层（5）的厚度为10—20微米。
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