[发明专利]针对传递函数的活动区域的改进型二分查找

权利要求书

1.一种方法，包括：

接收针对MEMS设备的传递函数的活动区域的目标值和准确范围；

选择第一输入值；

将所述第一输入值应用于所述MEMS设备的所述传递函数以产生第一输出值；

识别所述第一输出值在所述目标值的所述准确范围内；

当所述第一输出值在所述MEMS设备的所述传递函数的渐近区域内时，使用所述第一输入值选择第二输入值；以及

当所述输出值在所述MEMS设备的所述传递函数的所述活动区域内时，将所述第一输入值与所述目标值相关联。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，选择第二输入值包括：识别所述目标值比所述第一输出沿所述传递函数的路径更接近于所述活动区域。

3.根据权利要求1所述的方法，包括：

将所述第二输入值应用于所述MEMS设备的所述传递函数以产生第二输出值；

识别所述第二输出值在所述目标值的准确范围内；以及

当所述输出值在所述MEMS设备的所述传递函数的所述活动区域内时，将所述第二输入值与所述目标值相关联。

4.根据权利要求1所述的方法，包括：

当所述第一输出值不在所述目标值的准确范围内时，选择第三输入值。

5.根据权利要求1所述的方法，包括：

接收针对所述MEMS设备的所述传递函数的最小输入参数和最大输入参数。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，选择第一输入值包括：选择所述最小输入参数的值和所述最大输入参数的值之间的中值作为所述第一输入值。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，选择第二输入值包括：将所述最小参数和所述最大参数中的至少一者的值更新为所述第一输入值。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，选择第二输入值包括：选择更新后的参数的值和所述最小参数与所述最大参数之一的值之间的中值。

9.一种MEMS系统，包括：

MEMS致动器；以及

MEMS控制器，其配置成：

接收针对MEMS设备的传递函数的活动区域的目标值和准确范围；

选择第一输入值；

将所述第一输入值应用于所述MEMS设备的所述传递函数以产生第一输出值；

识别所述第一输出值在所述目标值的所述准确范围内；

当所述第一输出值在所述MEMS设备的所述传递函数的渐近区域内时，使用所述第一输入值选择第二输入值；以及

当所述输出值在所述MEMS设备的所述传递函数的所述活动区域内时，将所述第一输入值与所述目标值相关联。

10.根据权利要求9所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：在选择所述第二输入值之前，识别所述目标值比所述第一输出沿所述传递函数的路径更接近于所述活动区域。

11.根据权利要求9所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：

将所述第二输入值施加到应用于所述MEMS设备的所述传递函数以产生第二输出值；

识别所述第二输出值在所述目标值的所述准确范围内；以及

当所述输出值在所述MEMS设备的所述传递函数的所述活动区域内时，将所述第二输入值与所述目标值相关联。

12.根据权利要求9所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：当所述第一输出值不在所述目标值的准确范围内时，选择第三输入值。

13.根据权利要求9所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：接收针对所述MEMS设备的所述传递函数的最小输入参数和最大输入参数。

14.根据权利要求13所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：选择所述最小输入参数的值和所述最大输入参数的值之间的中值作为所述第一输入值。

15.根据权利要求13所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：将所述最小参数与所述最大参数中的至少一者的值更新为所述第一输入值。

16.根据权利要求15所述的MEMS系统，其中，所述MEMS控制器配置成：选择更新后的参数的值和所述最小参数与所述最大参数之一的值之间的中值。