[发明专利]样本制备方法和装置

权利要求书

1.一种样本制备方法，所述样本制备方法包括：

在显示屏幕上显示进行扫描电子显微镜观察的样本的作为第一截面的截面的观察图像的同时，通过聚焦离子束的扫描和照射对所述第一截面进行蚀刻处理，从而暴露所述样本的第二截面；以及

在显示屏幕上显示进行扫描电子显微镜观察的所述第二截面的观察图像的同时，在执行所述聚焦离子束的扫描和照射的同时改变所述聚焦离子束的扫描方向并且利用改变了扫描方向后的所述聚焦离子束的扫描和照射来对所述第二截面进行蚀刻处理，从而暴露所述样本的期望的截面。

2.根据权利要求1所述的样本制备方法，

其中，改变所述聚焦离子束的扫描方向的步骤包括将所述扫描方向改变为平行于所述样本的器件图案的布置方向。

3.一种样本制备方法，所述样本制备方法用于制备具有通过根据权利要求1或2所述的样本制备方法形成的期望的截面的薄片样本。

4.一种样本制备装置，所述样本制备装置包括：

样本台，所述样本台被构造为在其上布置样本；

聚焦离子束镜筒，所述聚焦离子束镜筒被构造为利用聚焦离子束扫描和照射所述样本以暴露所述样本的截面；

电子束镜筒，所述电子束镜筒被构造为利用电子束扫描和照射所述截面；

带电粒子检测器，所述带电粒子检测器被构造为检测由于所述电子束的照射而从所述截面发射的带电粒子；

显示部，所述显示部被构造为显示由所述带电粒子检测器的检测信号形成的所述截面的观察图像；

输入部，所述输入部被构造为接收所述聚焦离子束的扫描方向的旋转角度的输入；以及

扫描方向控制部，所述扫描方向控制部被构造为基于由所述输入部接收到的所述旋转角度在所述截面的处理和观察期间改变所述聚焦离子束的所述扫描方向。

5.根据权利要求4所述的样本制备装置，

其中，所述显示部被构造为显示：

所述截面的SEM图像和背向散射电子显微镜图像中的一个；

所述样本的SIM图像；

用于指示所述聚焦离子束的照射开始和停止的聚焦离子束显示部；

用于指示所述电子束的照射开始和停止的电子束显示部；以及

用于输入所述旋转角度的旋转角度显示部。

6.根据权利要求4所述的样本制备装置，

其中，所述带电粒子检测器包括背向散射电子检测器和二次电子检测器中的一个。

7.根据权利要求4所述的样本制备装置，

其中，所述扫描方向控制部被构造为在所述聚焦离子束镜筒利用所述聚焦离子束连续地扫描和照射所述样本的同时旋转所述聚焦离子束的扫描方向。