[发明专利]具有自洁式视窗的蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明与蒸镀设备有关，特别是指一种具有自洁式视窗的蒸镀设备。

背景技术

简单来说，所谓的真空镀膜是将一待镀物（例如基板）放到一真空腔体内，接着将一蒸镀源（例如硒）加热至汽化升华的状态，使蒸镀源的气体附着至待镀物的表面而形成一层薄膜。

然而在整个制程中，操作人员通常需要等到制程结束将待镀物从真空腔体内取出之后，才能够进一步确认待镀物的蒸镀品质，对操作人员来说实在相当的耗费时间，为了方便操作人员在制程中进行观察，有些真空腔体的表面会设置一透明视窗，但是某些蒸镀源所产生的气体会因为本身的气体特性而沉积在透明视窗的内表面，以至于操作人员无法经由透明视窗观察待镀物的蒸镀情形，如此同样难以掌控待镀物的蒸镀品质。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种具有自洁式视窗的蒸镀设备，其能方便操作人员随时观察待镀物的镀膜情形，以确实掌控待镀物的镀膜品质。

为了达成上述目的，本发明的蒸镀设备包含有一腔体、一支撑座、一透明视窗板，以及一加热器。该腔体具有一内部腔室及一视窗口，该内部腔室用以容置一待镀物，该视窗口贯穿该腔体的内、外壁面，使该内部腔室经由该视窗口与外界相通；该支撑座固定于该腔体的外壁面且具有一安装槽，该安装槽连通该腔体的视窗口；该透明视窗板固定于该支撑座的安装槽且正对该腔体的视窗口，用以使光线能够自外界穿透至该内部腔室；该加热器设于透明视窗板，用以对该透明视窗板进行加热，使加热后的蒸镀源所产生的气体不会沉积在该透明视窗板的内表面，如此便能方便操作人员经由该透明视窗板观察该待镀物的蒸镀情形。

较佳地，本发明的蒸镀设备更具有一压板及一隔热材，该压板位于该加热器的上方，该隔热材设于该压板与该加热器之间，如此即可提高加热效果。

较佳地，本发明的蒸镀设备更具有一密封圈，该密封圈设于该腔体与该支撑座之间，用以确保该内部腔室处于密闭的状态。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例的剖面示意图。

图2为本发明一较佳实施例的俯视示意图。

具体实施方式

为了详细说明本发明的结构、特征及功效所在，兹列举一较佳实施例并配合下列图式说明如后。

请参阅图1及图2，为本发明一较佳实施例所提供的蒸镀设备10，包含有一腔体20、一支撑座30、一透明视窗板40，以及一加热器50。

腔体20具有一内部腔室21，用以供一待镀物（图中未示）进行真空镀膜制程。腔体20具有一视窗口22，视窗口22贯穿腔体20的内、外壁面，使内部腔室21能够经由视窗口22与外界相通。

支撑座30的外周缘藉由一对固定片34固定于腔体20的外壁面，且支撑座30的中央具有一安装槽32，安装槽32连通腔体20的视窗口22。

透明视窗板40设置于支撑座30的安装槽32内，并以焊接方式与支撑座30固定在一起，使透明视窗板40正对于腔体20的视窗口22。

加热器50贴设于透明视窗板40的外表面，用以对透明视窗板40进行加热。

在此需要补充说明的是，腔体20与支撑座30之间可以设置由耐高温材料所制成的一密封圈60，用以确保腔体20的内部腔室21处于真空密闭的状态。此外，支撑座30的顶面可以设置一压板52，压板52及加热器50之间再设置一隔热材54，如此便能藉由压板52的压力及隔热材54的隔热功能而提高加热器50对透明视窗板40的加热效果，然而为了能够承受加热器50所产生的高温，支撑座30需要选用耐高温材料，其中以金属为最佳材质。

综上所陈，当开始对待镀物进行真空镀膜制程时，加热后的蒸镀源（例如硒）所产生的气体会逐渐附着于待镀物的表面，此时的加热器50会将透明视窗板40的温度加热至高于蒸镀源的熔点，以阻止蒸镀源的气体沉积在透明视窗板40的内表面，使得光线能够顺利经由透明视窗板40穿透至腔体20的内部腔室21，换言之，操作人员可以藉由透明视窗板40随时观察待镀物于内部腔室21的蒸镀情形，甚至可以配合使用各种适合在蒸镀环境下操作的光学侦测器，例如红外线测温仪或光学定位器，以便掌控待镀物的镀膜品质而达到本发明的目的。

最后，本发明于前揭实施例中所揭露的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的保护范围，其它等效元件的替代或变化，亦应为本案的申请专利范围所涵盖。