[发明专利]离子注入方法、输送容器及离子注入装置

权利要求书

1.一种离子注入方法，其特征在于，包括：

配置工序，在大气中，将与容纳太阳能电池用基板的托盘一体使用的掩模配置于第1位置或第2位置，所述第1位置为以相对所述基板定位的状态覆盖该基板表面的局部区域的位置，所述第2位置为从所述基板表面退避的位置；

第1注入工序，在真空中，以所述掩模处于所述第1位置的状态，对所述基板表面的第1区域进行离子注入；及

第2注入工序，在真空中，以所述掩模处于所述第2位置的状态，对所述基板表面的第2区域进行离子注入。

2.如权利要求1所述的离子注入方法，其特征在于，

在所述配置工序中，将所述掩模配置于第1位置，

在所述第1注入工序后执行所述第2注入工序。

3.如权利要求1或2所述的离子注入方法，其特征在于，

该离子注入方法包括对所述基板进行退火的退火工序，

在所述第2注入工序后，以将所述掩模配置于所述第2位置的状态执行所述退火工序。

4.如权利要求1或2所述的离子注入方法，其特征在于，

该离子注入方法还包括移动工序，在真空中，使所述掩模在所述第1位置与所述第2位置之间移动。

5.如权利要求4所述的离子注入方法，其特征在于，

在所述第1注入工序与所述第2注入工序之间执行所述移动工序。

6.一种输送容器，向离子注入装置的内部输送太阳能电池用基板，其特征在于，具备：

托盘，能够容纳所述基板；

掩模，能够在第1位置与第2位置之间移动，所述第1位置为以相对所述基板定位的状态覆盖该基板表面的局部区域的位置，所述第2位置为从所述基板表面退避的位置；及

连结机构，以使所述掩模能够在所述第1位置与所述第2位置之间移动的方式来连结所述掩模和所述托盘。

7.如权利要求6所述的输送容器，其特征在于，

所述托盘具有定位部，所述定位部将所述基板定位到预定位置，

所述掩模具有抵接部，所述抵接部通过在所述第1位置抵接于所述基板或所述托盘而被定位。

8.如权利要求6或7所述的输送容器，其特征在于，

所述托盘具有将多个所述基板按每一个基板进行容纳的多个容纳部。

9.一种离子注入装置，对太阳能电池用基板注入离子，其特征在于，具备：

载置部，载置权利要求6至8中任一项所述的输送容器；

离子注入源，对容纳于所述输送容器的基板进行离子注入；

真空装置，使配置有所述离子注入源的处理室成为真空状态；

输送部，将所述输送容器从所述载置部输送到所述处理室；及

移动机构，在处于真空状态的所述处理室内，使所述输送容器的掩模在所述第1位置与所述第2位置之间移动。