[发明专利]树脂密封装置及树脂密封方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种树脂密封装置及树脂密封方法。

背景技术

专利文献1中记载有如图6所示的树脂密封装置1，其具有上模10及与上模10相对靠近或远离的下模30，通过负压将基板6吸附于上模10来进行树脂密封。树脂密封装置1中，在未图示的吸引机构中产生空气负压，并在设置于上模10的流路10B中向吸附口10A传递负压。因此，当对基板6进行树脂密封时，能够使基板6稳定地吸附于上模10。

专利文献1：日本特开2008-302535号公报

在专利文献1的树脂密封装置1中被树脂密封的基板6上设置有设置于基板6的外周部分的定位用孔（工具孔）或用于判别基板6的种类的孔（统称并简称为孔6B）。因此，需要回避孔6B的位置而将多个吸附10A设于上模10。即，若不预先充分考虑基板6的外周部分的孔6B的位置，则会存在孔6B与吸附10A相互干涉，负压泄漏而无法得到充分的吸附力，难以使基板6稳定地吸附于上模10的顾虑。

发明内容

因此，本发明是为了解决上述问题而完成的，其课题在于提供一种不受基板等被成型品的外周部分的孔的位置的影响，而能够使被成型品稳定地吸附于模具的树脂密封装置及树脂密封方法。

本发明通过如下解决上述课题，即一种树脂密封装置，其具有第1模具及能够与该第1模具相对靠近或远离的第2模具，通过负压将被成型品吸附于该第1模具来进行树脂密封，所述第1模具中，在与所述被成型品被树脂密封的密封区域对应的区域和与最接近密封区域设置的孔对应的区域之间的区域，具有对该被成型品进行吸附的吸附部。

换言之，本发明并没有着眼于被成型品的圆周方向，而是着眼于被成型品的径向而设置吸附部。即，设置吸附部的部位设为被成型品的径向的“与密封区域对应的区域和与（最接近密封区域设置的）孔对应的区域之间的区域”。

另外，当仅由该孔为设置于被成型品的外周部分的定位用孔即工具孔构成时，本发明还能够掌握成如下结构，即一种树脂密封装置，其具有第1模具及能够与该第1模具相对靠近或远离的第2模具，通过负压将被成型品吸附于该第1模具来进行树脂密封，其中，所述第1模具中，在与所述被成型品被树脂密封的密封区域对应的区域和与形成工具孔的区域对应的区域之间的区域，具有对该被成型品进行吸附的吸附部。

另外，本发明还能够掌握成如下方法，即一种树脂密封方法，其使用第1模具及能够与该第1模具相对靠近或远离的第2模具，通过负压将被成型品吸附于该第1模具来进行树脂密封，其特征在于，该树脂密封方法包含如下工序，设置于所述第1模具的吸附部在与所述被成型品被树脂密封的密封区域对应的区域和与最接近该密封区域设置的孔对应的区域之间的区域对该被成型品进行吸附。

发明效果

根据本发明，不受被成型品的外周部分的孔的位置的影响，而能够使被成型品稳定地吸附于模具。

附图说明

图1是应用本发明的实施方式的一例的树脂密封装置的示意图。

图2是表示图1中所示的树脂密封装置的上模的下模侧表面与基板的关系的示意图。

图3是表示图2中所示的下模侧表面及基板的一部分的示意图。

图4是表示吸附于上模的基板与吸附部的关系的示意图。

图5是表示树脂密封的步骤的示意图。

图6是表示以往的树脂密封装置的示意图。

图中：1、100-树脂密封装置，4、104-脱模膜，6、106-基板，6A、106A-密封区域，6B、106B-孔，10、110-上模，10A-吸附口，10B-流路，30、130-下模，32、132-压缩模，34、134-加热器，36、136-框模，36A、118A、136A-贯穿孔，38、138-弹簧，108-树脂，114-第1上模，114A-第1流路，116-第2上模，116A-下模侧表面，116B-第1上模侧表面，118-外模，120-内模，120A-吸附部，120B-第2流路，120C-中继槽，120D-贯穿路，150-型腔。

具体实施方式

以下根据附图对本发明的实施方式的例子进行说明。

图1是应用本发明的实施方式的一例的树脂密封装置的示意图。对概略的特征进行以下说明。