[发明专利]用于容器内部涂覆的空心阴极气体喷枪

权利要求书

1.借助等离子体处理的用于涂覆例如塑料瓶的容器的装置（100），所述装置包括：

至少一个高频源（106），位于待处理的容器（102）的外侧的至少一个外电极（103），以及至少一个至少部分导电的气体喷枪（101），所述气体喷枪用于将加工气体供给至容器（102），所述装置被配置为将所述高频源（106）的高频施加至所述至少一个外电极（103）或所述至少一个气体喷枪（101），其特征在于，所述至少一个气体喷枪（101）被配置为至少部分或整体作为具有至少一个内部空心空间的空心阴极，其中所述空心阴极的至少一个空心空间流体连接至所述待处理的容器（102）的内部并且流体连接至所述气体喷枪（101）的例如通过横向的孔或凹部（113）和/或轴向的孔或凹部（114）供给所述加工气体的部分，并且其特征在于，能够在空心阴极的内部在所述至少一个空心空间中生成等离子体。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（101）的未被配置为空心阴极的部分设置有孔或凹部，这些孔或凹部优选地布置在侧面和/或轴向上，例如具有小于0.5mm，优选为0.1-0.2mm的平均孔直径或凹部直径，经由这些孔或凹部，所述加工气体能够被供给至所述容器的内部和/或所述空心阴级的至少一个空心空间。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（101）沿着例如为50-500mm优选为200-300mm的所述气体喷枪的整个长度包括内部空心空间，例如，所述内部空心空间具有2-20mm，优选为6mm的平均内部直径，并且所述内部空心空间设置有孔或凹部，这些孔或凹部优选地布置在侧面（113）和/或轴向（114）上，例如具有大于0.5mm，优选为1-2mm的平均孔直径或凹部直径。

4.根据前面的权利要求1至3之一所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（101）被可旋转地装配。

5.根据前面的权利要求1至4之一所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪适于允许加工气体和中性非涂覆用的惰性气体的物理上的分离供给，其中所述加工气体可以直接地供给至所述容器，而所述中性非涂覆用的惰性气体可以直接地供给至所述空心阴极或所述内部空心空间。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述气体喷枪（601）包括内部气体喷枪（621）和外部气体喷枪（622），借助内部气体喷枪能够使中性非涂覆用的惰性气体（606）供给至所述内部气体喷枪（621）的空心阴极（610）的内部空心空间，借助外部气体喷枪，通过允许所述加工气体（605）流出例如具有小于0.5mm优选为0.1-0.2mm的平均孔直径或凹部直径的横向的孔/凹部（613），和/或流出所述内部气体喷枪（621）的至少一个轴向的孔或轴向的出口（620）而进入所述容器的内部，所述加工气体（605）能够被供给至所述容器（602）的内部。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述外部气体喷枪（622）部分地或整体地适合所述内部气体喷枪（621）的轮廓。

8.用于容器（102）的等离子体增强型涂覆的方法，所述方法包括：加工气体的转换是部分地或几乎全部地由在气体喷枪（101）中生成的空心阴极等离子体来支持的。