[发明专利]平台单元有效

专利信息
申请号: 201310049359.3 申请日: 2013-02-07
公开(公告)号: CN103377863A 公开(公告)日: 2013-10-30
发明(设计)人: 金子保;田岛康崇 申请(专利权)人: 中外炉工业株式会社
主分类号: H01J9/24 分类号: H01J9/24
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘文海
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 平台 单元
【说明书】:

技术领域

本发明涉及通过简单且廉价地制作的结构,并利用金属制的定位销能够将进行加热处理的玻璃基板定位在陶瓷制的平台上的平台单元。

背景技术

以往,在对薄板状的工件实施处理时,作为对工件进行位置保持的技术,已知有例如专利文献1~3。专利文献1的“工件的升降装置”是相对于吸附保持薄板形状的工件并对工件实施规定的处理的货物而使工件升降用的工件的升降装置,具备用于使工件升降的升降销和用于对升降销进行升降驱动的工作缸,升降销的将工件压起的力设定为工件的重量的10倍以下。

专利文献2的“基板托架”具备基板支承构件、压抵销及按压销、细长的支承板、升降装置,该基板支承构件对透明的矩形形状的玻璃基板的周缘部进行载置并形成有透过照明用的开口,所述压抵销及按压销以包围所述开口的方式设置在所述基板支承构件上并进行所述玻璃基板的定位,该支承板以横切所述开口的方式配置多个且突出设置有支承销,该支承销对载置在所述基板支承构件上的所述玻璃基板的背面进行支承,该升降装置设置在所述基板支承构件上,使所述支承板上升而使所述支承销与所述玻璃基板的背面抵接来对所述玻璃基板进行支承,并且,使所述支承板下降而使所述支承销从所述玻璃基板的背面分离来解除对所述玻璃基板的支承,所述升降装置在将所述玻璃基板定位于所述基板支承构件之后使所述支承板上升而通过所述支承销对所述玻璃基板进行支承。

在专利文献3的“玻璃定位器、定位销及等离子显示器面板的制造方法”中,玻璃定位器是为了进行玻璃基板的热处理而在载置有玻璃基板的状态下在热处理炉内被搬运的玻璃定位器,在载置玻璃基板的基板载置区域的外周的多个部位形成有安装定位销的销安装部。

专利文献1具备将工件吸附保持在板上的装置。专利文献2具备将玻璃基板吸附保持于基板托架且由按压销和压抵销夹持的装置。在专利文献3中,在对薄板状的玻璃基板进行热处理时,将玻璃基板载置在耐热性优异的陶瓷制的定位器(托盘)上,在搬运中为了使定位器上的玻璃基板不移动而在定位器上设置定位销。定位销与定位器嵌合或通过螺钉螺合。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2002-313893号公报

【专利文献2】日本专利第3636235号说明书

【专利文献3】日本特开2005-174669号公报

【发明的概要】

【发明所要解决的课题】

液晶等的显示面板或触摸面板逐年变薄,作为其基材的玻璃基板也变薄,制造时的操作变得困难。在对该玻璃基板进行加工时,要求高精度,因此在对玻璃基板进行加热处理时,优选在定位于平台的状态下进行搬运。

此时,作为平台单元,若平台及定位销使用耐热性优异的陶瓷,则成本高涨。而且,若将廉价的金属制的定位销与陶瓷制的平台嵌合或通过螺钉螺合,则由于陶瓷与金属的热膨胀率的不同,可能会使陶瓷制的平台破损。因此,要求一种对加热处理的玻璃基板进行定位、保持的廉价的平台单元。

发明内容

本发明鉴于上述以往的课题而提出,目的在于提供一种通过简单且廉价地制作的结构,并利用金属制的定位销能够将进行加热处理的玻璃基板定位在陶瓷制的平台上的平台单元。

【用于解决课题的手段】

本发明的平台单元的特征在于,具备:陶瓷制的平台,其上载置有进行加热处理的玻璃基板;多个松孔,其在该平台上,排列在对玻璃基板进行定位的位置,而向上下方向贯通形成;多个金属制的定位销,其松动地插入到所述松孔内;连结构件,其在上述平台上将上述定位销彼此连结,并保持该定位销的从上述松孔向该平台上突出的突出状态。

本发明的平台单元的特征在于,所述连结构件将为了定位玻璃基板的角部而隔着该角部排列的所述定位销彼此以避开该角部的方式连结。

本发明的平台单元的特征在于,所述连结构件具有卡止部,该卡止部在通过所述定位销从玻璃基板遮挡的位置处卡止于该定位销。

本发明的平台单元的特征在于,在所述定位销上形成有所述连结构件松动地贯通的横向贯通孔,并且上述连结构件的所述卡止部由从上述横向贯通孔沿着上述定位销的外圈折回的弯曲部形成,该弯曲部为了限制其与玻璃基板的干涉,对应于上述连结构件在上述横向贯通孔内的旋转而与上述定位销抵接。

【发明效果】

在本发明的平台单元中,通过简单且廉价地制作的结构,并利用金属制的定位销能够将进行加热处理的玻璃基板定位在陶瓷制的平台上。

附图说明

图1是说明本发明的平台单元的第一实施方式的结构的说明图。

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