[发明专利]TDLAS温度测量与校准用真空腔

说明书

技术领域

本发明涉及真空室技术，特别是一种真空腔，所述真空腔能够用于TDLAS温度校准系统，所述TDLAS是Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy的简称，即可调谐半导体激光吸收光谱技术。

背景技术

现有技术中的真空腔由于采用单一真空室的结构设计，在使用中，例如，用于TDLAS温度校准系统中，光电探测器接收到的信号将受空气中残余试验气体的影响。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的缺陷或不足，提供一种真空腔，所述真空腔能够用于TDLAS温度校准系统，所述TDLAS是Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy的简称，即可调谐半导体激光吸收光谱技术。。

本发明的技术方案如下：

真空腔，其特征在于，包括通过透射镜片隔开的上真空室和下真空室，所述下真空室的底部设置有反射镜片，所述下真空室的侧壁分别设置有试验气体充气口和真空获得系统接口，所述试验气体充气口连接第二充气阀，所述真空获得系统接口连接第二隔断阀，所述上真空室分别内设有准直器安装架和光电探测器安装架，所述上真空室的侧壁分别设置有光纤引入口、抽真空口和氩气充气口。

所述氩气充气口连接第一充气阀。

所述抽真空口通过第一隔断阀连接机械泵。

所述上真空室的侧壁设置有真空规。

所述真空规采用电阻规。

所述上真空室的侧壁设置有航空插头。

所述下真空室的底部侧壁设置有波纹管。

所述下真空室设置于恒温槽中。

所述上真空室的内壁均匀分布有非通孔螺纹。

本发明技术效果如下：本发明的真空腔能够有利于消除空气中残余气体对TDLAS温度测量系统的影响。上真空室主要用做固定准直器、光纤、光电探测器和航空插头。上真空室用机械泵作为真空获得装置对其进行抽真空，用电阻规进行真空度测量，当机械泵将真空室抽到极限真空度以后，可以开始工作，这样消除空气中残余气体对激光发射端和探测器探测精度的影响。上真空室的内壁均匀分布M4的非通孔，既能保证真空室的密封性同时也能固定并调节准直器固定机构和光电探测器固定机构。采用透射镜和反射镜组合的方式调整光路，一方面增加了吸收光程，同时该机构便于光信号的反射和探测。采用波纹管焊接在真空室腔体和法兰上，配合三个调节螺钉保证真空室的密封，同时实现反射镜所在平面的角度调节。

附图说明

图1是实施本发明的真空腔结构示意图。

附图标记列示如下：1-氩气充气口；2-第一充气阀；3-真空规；4-第一隔断阀；5-机械泵接口；6-航空插头；7-光纤引入口；8-准直器安装架；9-光电探测器安装架；10-上真空室；11-试验气体充气口；12-第二充气阀；13-第二隔断阀；14-真空获得系统接口；15-透射镜片；16-下真空室；17-波纹管；18-反射镜片；19-恒温槽。

具体实施方式

下面结合附图（图1）对本发明进行说明。

图1是实施本发明的真空腔结构示意图。如图1所示，真空腔，包括通过透射镜片15隔开的上真空室10和下真空室16，所述下真空室16的底部设置有反射镜片18，所述下真空室16的侧壁分别设置有试验气体充气口11和真空获得系统接口14，所述试验气体充气口11连接第二充气阀12，所述真空获得系统接口14连接第二隔断阀13，所述上真空室10分别内设有准直器安装架8和光电探测器安装架9，所述上真空室10的侧壁分别设置有光纤引入口7、抽真空口（例如，机械泵接口5）和氩气充气口1。所述氩气充气口1连接第一充气阀2。所述抽真空口通过第一隔断阀4连接机械泵。所述上真空室10的侧壁设置有真空规3。所述真空规3采用电阻规。所述上真空室10的侧壁设置有航空插头6。所述下真空室16的底部侧壁设置有波纹管17。所述下真空室16设置于恒温槽19中。所述上真空室10的内壁均匀分布有非通孔螺纹。