[发明专利]一种墨水喷头及其制造方法

权利要求书

1.一种墨水喷头，包括：硅基板、设置在所述硅基板表面上部的振动板、由所述振动板下表面和硅基板形成的供墨腔室、设置在所述振动板表面的压电元件、设置在所述振动板和压电元件上的墨水腔室、使所述供墨腔室和墨水腔室连通的通孔和与所述墨水腔室连通的喷嘴；其特征是：所述供墨腔室的内壁表面还设置有保护层，所述保护层外还设置有疏水层。

2.如权利要求1所述的墨水喷头，其特征是，所述保护层为金属氧化物组成，所述疏水层为由磷烷基组成的单层膜。

3.如权利要求2所述的墨水喷头，其特征是，所述金属氧化物选自于TiO₂，Ta₂O₅，Nb₂O₅或ZrO₂。

4.如权利要求1或2或3所述的墨水喷头，其特征是，所述振动板和压电元件一端固定。

5.如权利要求1或2或3所述的墨水喷头，其特征是，所述振动板和压电元件另两端固定。

6.一种墨水喷头的制造方法，包括以下步骤：

一、在硅基板表面形成供墨腔室的凹部；

二、在所述供墨腔室的凹部形成保护层；

三、在凹部填充能耐高温、热膨胀系数小的填充物，将凹部填平。

四、在所述填平的凹部表面上形成振动板和压电元件；

五、形成墨水腔室和喷嘴；

六、除去填充物并在所述金属氧化物保护层上形成疏水层。

7.如权利要求6所述的墨水喷头的制造方法，其特征是，所述保护层为金属氧化物组成，所述疏水层为由磷烷基组成的单层膜。

8.如权利要求6所述的墨水喷头的制造方法，其特征是，所述金属氧化物选自于TiO₂，Ta₂O₅，Nb₂O₅或ZrO₂。

9.如权利要求6所述的墨水喷头的制造方法，其特征是，所述的填充物选自于多晶硅、多孔硅或无定型硅。