[发明专利]一种制备柔性可延展互连线的方法

权利要求书

1.一种制备柔性可延展互连线的方法，其特征在于该方法按如下步骤进行：

1）将长度为L₀的软基底一端固定，另一端仅能够沿水平方向移动，所述软基底上表面设有方形凸台；

2）使软基底沿着水平方向伸长ΔL，此时软基底的长度L₁=L₀+ΔL，预应变ε_pre=ΔL/L₀；

3）将互连线贴在被拉伸的软基底上表面的方形凸台上，然后再使软基底的长度恢复到原长L₀，此时互连线在水平方向上被压缩，在相邻两个方形凸台之间的互连线产生向上偏转的失稳，得到柔性可延展的互连线，失稳后的互连线能够承受的拉伸应变等于软基底被拉伸时受到的预应变ε_pre，该柔性可延展互连线的幅值A和波长λ分别为：

A=4πwd(wd+wp)(ϵpre-ϵc)]]>

λ=2w_d

其中，w_d和w_p分别为相邻两个方形凸台间隙的一半和凸台宽度的一半，为软基底被拉伸时受到的预应变，为对应的两端固支欧拉梁失稳的临界应变；h为互连线的厚度。

2.按照权利要求1所述的一种制备柔性可延展互连线的方法，其特征在于：该装置包括固定支座（1）、滑移块（2）、位移调节机构（4）以及用于夹持软基底的第一夹具（3a）和第二夹具（3b）；所述的滑移块（2）设置在固定支座（1）上并沿水平方向滑动；所述的位移调节机构（4）与滑移块相连接。

3.按照权利要求2所述的一种制备柔性可延展互连线的方法，其特征在于：所述的调节机构采用机械式或电动式。