[发明专利]一种线性等离子体源

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产领域，特别涉及一种线性等离子体源。 

背景技术

随着科技的进步，太阳能电池的应用越来越广泛，在太阳能电池的硅片沉膜或刻蚀的过程中，需要用到线性等离子体源来产生用于沉膜的等离子。 

现有技术中，线性等离子体源主要有中空阴极等离子体源、微波线性等离子体源等。现有技术中的微波线性等离子体源，具有与产生微波的装置连接的导管，导管位于反应室内，反应室内安装产生磁场的装置，反应室内先加载了反应气体，导管将微波馈入到反应室中，使反应室中的反应气体形成等离子体，再通过磁场装置的指引由等离子出口向外排出。 

但是现有技术的线性等离子体源，生产成本较高，工艺复杂，并且等离子体的均匀性得不到保障。 

发明内容

本发明实施例提供结构简单，生产制作成本低，均匀性好，膜层致密性高的一种线性等离子体源。 

一种线性等离子体源，包括：外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。 

本发明实施例提供的技术方案中，电极板对内部管道所释放的反应气体进行处理产生等离子，结构简单，制作成本低，而且电极板位于内部管道周围，使得产生的等离子更加均匀，并且生产速度更快，再通过电磁线圈产生有效磁场，能够有效约束等离子体的运动方向和增加等离子体密度，使得释放出来的等离子均匀密度大，能够有效的加快沉膜或刻蚀的速度，并使得膜层致密性高。 

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1为本发明实施例中等离子体源立体示意图； 

图2为本发明实施例中等离子体源仰视示意图； 

图3为本发明实施例中等离子体源第一分解示意图； 

图4为本发明实施例中等离子体源第二分解示意图； 

图5为本发明实施例中等离子体源截面示意图； 

图6为本发明实施例中第一管道系统示意图； 

图7为本发明实施例中等离子体源与等离子体截面示意图。 

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。 

本发明实施例提供一种线性等离子体源。下面进行详细说明。 

请参阅图1至图7，图1为本发明实施例中等离子体源立体示意图；图2为本发明实施例中等离子体源仰视示意图；图3为本发明实施例中等离子体源第一分解示意图；图4为本发明实施例中等离子体源第二分解示意图；图5为本发明实施例中等离子体源截面示意图；本发明实施例中等离子体源包括：外壳10，进气系统20，电极系统30以及电磁系统40，其中： 

外壳10，包括前盖板11，以及壳体12，所述前盖板11以及壳体12形成反应室，所述壳体12的下底部具有长条状的出口，则所述外壳形成具有出口的反应室。 

进气系统20，包括内部管道201和外部管道202； 

所述内部管道201安装在所述外壳10上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；本实施例中，具体的，内部管道201一端固定在前盖板11 上并与反应气体源连接，另一端固定在壳体12的背部；进一步的，所述内部管道201安装在外壳10的中轴线上； 

在本实施例中，所述反应气体包括易电离且不易污染等离子体源的工艺气体，以及易污染等离子体源的工艺气体，具体的，所述易电离且不易污染等离子体源的工艺气体，为氨气，所述易污染等离子体源的工艺气体，为硅烷，内部管道用于释放易电离且不易污染等离子体源的工艺气体，外部管道用于释放易污染等离子体源的工艺气体，则，内部管道201一端与易电离且不易污染等离子体源的工艺气体源连接；