[发明专利]一种激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于：包括入射光束偏移运动控制模块、激光光束旋转运动模块和激光聚焦与焦点切换模块，所述激光光束旋转运动模块，包括至少一个激光光束旋转单元，所述激光光束旋转单元包括旋转透射光学元件和用于带动所述旋转透射光学元件做旋转运动的驱动装置，

所述入射光束偏移运动控制模块通过调制入射激光束的传输方位，以形成发射到所述激光光束旋转运动模块的第一光束，调节所述第一光束的运动轨迹轮廓大小，并将所述第一光束发射给位于所述入射光束偏移运动控制模块发出第一光束的一侧的所述激光光束旋转运动模块中靠近所述入射光束偏移运动控制模块的一个激光光束旋转单元的旋转透射光学元件上；

所述激光光束旋转运动模块中靠近所述入射光束偏移运动控制模块发出第一光束的一侧的一个激光光束旋转单元上的旋转透射光学元件，用于接收所述第一光束，所述激光光束旋转运动模块对所述第一光束进行调制后输出第二光束，使得所述从激光光束旋转运动模块输出的第二光束沿着所述第一光束的光轴进行旋转；

所述激光聚焦与焦点切换模块，位于所述激光光束旋转运动模块输出第二光束的一侧，用于接收从所述激光光束旋转运动模块输出的第二光束，并对第二光束进行聚焦，以形成聚焦光束，并控制所述聚焦光束的激光焦点在不同加工单元之间进行切换或在一个加工单元处对所述聚焦光束的激光焦点扫描运动进行辅助运动控制。

2.根据权利要求1所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述入射光束偏移运动控制模块包括一个或至少两个串联的入射光束偏移单元。

3.根据权利要求2所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述入射光束偏移单元包括透射光学元件以及用于控制透射光学元件进行摆动或平移的电机或压电陶瓷；或者，所述入射光束偏移单元包括反射光学元件以及用于控制反射光学元件进行偏转或者平移的电机或压电陶瓷；或者，所述入射光束偏移单元包括包括声光调制器，通过改变声光调制器的驱动源的载波频率调节所述入射激光的布拉格光栅反射角，改变入射激光传输方向。

4.根据权利要求3所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述透射光学元件为透射平板光学元件或透射棱镜光学元件；所述反射光学元件为反射镜片。

5.根据权利要求1所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述激光光束旋转运动模块，包括两个或两个以上串联的激光光束旋转单元，所述激光光束旋转单元各自独立旋转，第一个激光光束旋转单元中的旋转透射光学元件接收所述入射光束偏移运动控制模块发出第一光束，所述第一个激光光束旋转单元输出激光束光轴沿着其入射激光的光轴进行自转，后一激光光束旋转单元的输出光束的光轴沿着前一激光光束旋转单元的输出的光束的光轴进行公转，并且还沿着该公转轨迹进行自转。

6.根据权利要求1至5任一所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述用于带动所述旋转透射光学元件做旋转运动的驱动装置为空心主轴电机，所述旋转透射光学元件安装在所述空心主轴电机的电机主轴上，所述电机的电机主轴为空心轴；

或者，所述用于带动所述旋转透射光学元件做旋转运动的驱动装置为电机皮带传动装置，所述电机皮带传动装置，包括电机、主动轮、从动轮及套设在所述主动轮和从动轮上的同步带，所述电机安装在主动轮上，旋转透射光学元件固定安装在从动轮上。

7.根据权利要求6所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述空心主轴电机为气浮空心主轴电机或磁浮空心主轴电机或伺服空心主轴电机。

8.根据权利要求1至5任一所述的一种激光加工装置，其特征在于：所述旋转透射光学元件为楔形棱镜或透镜或平板光学元件或衍射体光栅或光楔。