[发明专利]钇钡铜氧超导薄膜的制备方法

权利要求书

1.钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，首先在单晶铝酸镧基片上将无氟钇钡铜氧溶胶制得钇钡铜氧凝胶膜，然后将钇钡铜氧凝胶膜干燥后依次经过热处理、结晶和渗氧处理，冷却后得到钇钡铜氧超导薄膜。

2.根据权利要求1所述的钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，所述无氟钇钡铜氧溶胶是通过将醋酸钇、醋酸钡和醋酸铜分别用二乙烯二胺、乳酸和丙烯酸溶解于甲醇中形成三种溶液，然后再将上述三种溶液混合搅拌得到的，醋酸钇、醋酸钡和醋酸铜中钇、钡和铜的摩尔比为1～1.5：2：3～4。

3.根据权利要求1或2所述的钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，钇钡铜氧凝胶膜干燥在空气、高纯氮气或高纯氩气中进行，温度为80～150℃，时间为15～30min。

4.根据权利要求3所述的钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，所述干燥的钇钡铜氧凝胶膜的热处理在预设温度为100℃的水平石英管式气氛烧结炉中进行，具体步骤为：首先在由0.1～5%vol氧气、1～10%vol水蒸气和余量氮气组成的混合气氛中升温至350～420℃，然后在由0.1～5%vol氧气、0.1～10%vol二氧化碳和余量氮气组成的混合气氛中升温至450～600℃，再在由0.1～5%vol氧气和余量氮气组成混合气氛中升温至650～700℃。

5.根据权利要求4所述的钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，所述热处理后的钇钡铜氧凝胶膜的结晶是在由0.01～5%vol氧气、1～10%vol水蒸气和余量氮气组成的混合气氛中进行，温度为750～850℃，时间为1～3h。

6.根据权利要求5所述的钇钡铜氧超导薄膜的制备方法，其特征在于，所述结晶后的钇钡铜氧凝胶膜的渗氧处理是在纯氧气氛中进行，温度为400～500℃，保温时间为1～3h。