[发明专利]石墨盘烤盘工装有效
申请号: | 201310038896.8 | 申请日: | 2013-01-29 |
公开(公告)号: | CN103103498A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 周永君;徐小明;丁云鑫 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C30B25/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 浦易文 |
地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 盘烤盘 工装 | ||
1.一种石墨盘烤盘工装(10),所述石墨盘烤盘工装包括:
用于支承石墨盘的烤盘架(110),所述烤盘架(110)包括盘架主体和安装在盘架主体上的多个支撑条(114),这些支撑条(114)构造成支承石墨盘的圆周边(22);其特征在于:所述烤盘工装还包括:
支撑座(120),所述支撑座(120)具有支承所述烤盘架(110)的支撑面(122),所述支撑座(120)由耐高温隔热材料制成。
2.如权利要求1所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述支撑座由石英材料制成。
3.如权利要求1或2所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述烤盘架(110)由石英制成;
并且所述石墨盘烤盘工装还包括石墨垫块(130),所述石墨垫块(130)构造成安装在所述烤盘架(110)的所述支撑条(114)上并且具有用于直接接触支承石墨盘的支承面(135)。
4.如权利要求3所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述石墨垫块进一步包括设置在所述石墨垫块的所述支承面相对一侧上的突部(134),所述支撑条(114)设有与所述突部(134)相对应的贯通的卡孔(117),所述突部(134)嵌设在所述卡孔(117)内。
5.如权利要求3所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述石墨垫块还包括:
两个平行的保护耳(132),所述保护耳(132)在与所述突部(134)相反的一侧设置在所述石墨垫块(130)的支承面上;
用于接合所述支撑条(114)的挂耳(136),所述挂耳(136)垂直于所述保护耳(132)设置在与所述突部(134)相同的一侧上;以及
设置在所述突部(134)中的通孔(138)。
6.如权利要求1所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述支撑座(120)的所述支撑面(122)上设有用于插入所述烤盘架(110)的所述盘架主体的下端的安装卡槽(124)。
7.如权利要求1所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述支撑座(120)的所述支撑面(122)上设有多个通孔(126),所述通孔(126)在所述支撑面(122)上布置成中间少两侧多。
8.如权利要求3所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,每个所述支撑件上设有至少一个凹槽(118),所述石墨垫块(130)装配在所述凹槽(118)内。
9.如权利要求1所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述烤盘架(110)包括四个支撑条(114),所述四个支撑条(114)的对石墨盘起到支承作用的一侧表面相对于水平面成角度地倾斜设置,并且相对水平面的倾斜角度设定为使四个所述表面围绕所述石墨盘的圆周边(22)支承所述石墨盘。
10.如权利要求1所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述多个支撑条(114)中的每一个均包括左右隔开的两个凹槽(118),从而多个支撑条(114)上的凹槽(118)排列成用于围绕两个石墨盘的圆周边(22)支承石墨盘(20)的两列凹槽(118)。
11.如权利要求10所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述烤盘工装的所述支撑条(114)构造为将两个所述石墨盘支承为彼此隔开地相对向内倾斜。
12.如权利要求1所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述烤盘架(110)的盘架主体包括两块支撑板(112),支撑板(112)由支撑条(114)相连,所述支撑板(112)的下端插入在所述支撑座(120)的所述支撑面(122)上的安装卡槽(124)中。
13.如权利要求1或2所述的石墨盘烤盘工装(10),其特征在于,所述烤盘架(110)由石墨材料一体制成。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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