[发明专利]一种环形的在旋转中可交替切换支点的工件支撑机构有效
申请号: | 201310037540.2 | 申请日: | 2013-01-30 |
公开(公告)号: | CN103103490A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 罗蓉平;董骐;李常斌;孙广泰 | 申请(专利权)人: | 北京丹鹏表面技术研究中心 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 廖元秋 |
地址: | 100096 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 环形 旋转 交替 切换 支点 工件 支撑 机构 | ||
1.一种环形的在旋转中可交替切换支点的工件支撑机构,其特征在于,该机构包括:安装在镀膜机底板上的底座,通过轴承安装在底座上镀膜机真空腔内的环形旋转支撑组件,设置在环形旋转支撑组件外侧的驱动组件,该驱动组件驱动环形旋转支撑组件旋转;固定在环形旋转支撑组件上的一组固定支撑柱组件和一组活动支撑柱组件,该固定支撑柱组件的上端和活动支撑柱组件的上端为支撑工件的支点;该活动支撑柱组件在随环形旋转支撑组件旋转的同时,上端能上下移动,使固定支撑柱组件与活动支撑柱组件交替支撑工件,实现工件在旋转中支点的自动切换。
2.如权利要求1所述的支撑机构,其特征在于,所述的环形旋转支撑组件由上环形齿轮盘、下环形齿轮盘及固定在下环形齿轮盘上的带有交替相接且园滑过渡的上坡和下坡曲面环形轨道所组成;所述活动支撑柱组件的下端沿环形轨道旋转且实现上下移动。
3.如权利要求2所述的支撑机构,其特征在于,所述的固定支撑组件由多个固定支撑柱组成,均布在上环形齿轮盘上,每个支撑柱由依次相连的工件托板,固定柱和底板组成;工件托板固定在固定柱的上端作为支撑工件的支点,下端与底板相连,底板固定在上环形齿轮盘上。
4.如权利要求3所述的支撑机构,其特征在于,所述的活动支撑组件由多个活动支撑柱组成,均布在上环形齿轮盘上且与固定支撑柱相间分布,每个支撑柱由工件托板活动柱,导向套和滚动轮组成,工件托板固定在活动柱的上端作为支撑工件的支点,导向套固定在上环形齿轮盘上开有相应的通孔处,活动柱套在导向套内,滚动轮固定在活动柱的下端;滚动轮通过上环形齿轮盘上导向套内的通孔置于环形轨道上。
5.如权利要求3所述的支撑机构,其特征在于,所述的驱动组件为结构基本相同的两组驱动组件,分别设置在环形旋转支撑组件的外侧,每组组件由分别与上、下环形齿轮盘啮合的传动上齿轮,磁流体密封件,传动下齿轮,主动齿轮及带减速机的伺服电机所组成;通过调整电机转速使上、下环形齿轮盘的转速不同;其中两磁流体密封件安装在镀膜机底板下,两个上齿轮置于镀膜机真空腔内。
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