[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具备：

供给单元，其朝向加工对象的加工部分附近吹出原料气体及热风，从吹出所述原料气体及所述热风的位置的外侧朝向所述加工部分附近的周边吹出冷却风，并且，在吹出所述原料气体及所述热风的位置与吹出所述冷却风的位置之间设置用于吸入所述原料气体、所述热风及所述冷却风的排气口；

照射装置，其向所述加工部分照射激光。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述排气口以包围吹出所述原料气体及所述热风的位置的方式形成，

吹出所述冷却风的送风口以包围所述排气口的方式形成。

3.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

在所述供给单元内，在所述原料气体及所述热风通过的路径与所述冷却风通过的路径之间设置有隔热层。

4.如权利要求1～3中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

在放置所述加工对象的台的设置面设置有用于在所述加工对象与所述设置面之间形成间隙的多个突起。

5.如权利要求1～4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

还具备用于冷却所述冷却风的冷却装置。

6.如权利要求1～5中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述冷却装置从不同的位置朝向所述加工部分附近吹出所述热风和所述原料气体。

7.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

还具备控制装置，所述控制装置进行如下的控制，即、在利用所述热风对所述加工部分附近加热规定的时间之后，利用所述原料气体在所述加工部分附近生成原料气体环境，并同时进行向所述加工部分照射激光的第一工序和利用所述冷却风冷却所述加工部分附近的周边的第二工序。