[发明专利]基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置有效
| 申请号： | 201310033429.6 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN103105143A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;王伟波;张拓 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 表面 荧光 激发 差动 显微 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置，其特征在于包括激光器（1）、沿光线传播方向配置在激光器（1）直射光路上的准直扩束器（2）和偏振分光镜（3）；配置在偏振分光镜（3）反射光路上的四分之一波片（4）、探测物镜（5）和被测件（6）；配置在偏振分光镜（3）透射光路上的收集物镜（8）、分光镜（9）、第二针孔（12）和第二探测器（13）；配置在分光镜（9）反射光路上的第一针孔（10）和第一探测器（11）；所述的第一探测器（11）配备有第一窄带滤光片、第二探测器（13）配备有第二窄带滤光片；所述的被测件（6）由微位移载物台（7）承载，表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置，其特征在于所述的第一窄带滤光片和第二窄带滤光片的中心波长和带宽均相同。
3.根据权利要求2所述的基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置，其特征在于所述的第一窄带滤光片和第二窄带滤光片的中心波长为610nm，带宽为50nm。
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