[发明专利]冷阱及冷阱的控制方法

权利要求书

1.一种冷阱，其具备能够独立控制的多个冷却单元，且配置于将排气对象容积与真空泵连接的排气流路内，其特征在于，

各冷却单元包括：

板单元，其露出配置于所述排气流路；及

制冷机，其与所述板单元热连接并对所述板单元进行冷却，

各冷却单元的板单元与其他冷却单元的板单元远离配置。

2.如权利要求1所述的冷阱，其特征在于，

所述冷阱还具备控制部，所述控制部将各冷却单元的控制模式在通常运行模式与再生模式之间进行切换，其中，通常运行模式使从所述排气对象容积通过所述排气流路而来到的气体冻结并捕捉在所述板单元的表面，再生模式使冻结在所述板单元的表面上的气体气化并通过所述真空泵向外部排出，

当所述多个冷却单元中的一部分冷却单元成为所述通常运行模式时，所述控制部将所述多个冷却单元中的另一部分冷却单元设为所述再生模式。

3.如权利要求1或2所述的冷阱，其特征在于，

所述冷阱还具备罩部，且该罩部热连接于相邻的2个板单元中的任意一个，并且至少局部性地覆盖上述2个板单元的间隙。

4.一种冷阱的控制方法，其是权利要求1所述的冷阱的控制方法，该冷阱的控制方法的特征在于，包括：

在通常运行模式与再生模式之间切换各冷却单元的控制模式的步骤，其中，通常运行模式使从所述排气对象容积通过所述排气流路而来到的气体冻结并捕捉在所述板单元的表面，再生模式使冻结在所述板单元的表面的气体气化并通过所述真空泵向外部排出；及

当所述多个冷却单元中的一部分冷却单元成为所述通常运行模式时，将所述多个冷却单元中的另一部分冷却单元设为所述再生模式的步骤。