[发明专利]产生双层等离子体光子晶体的装置和方法有效
| 申请号： | 201310031529.5 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103064133A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 董丽芳;申中凯;李犇;张新普 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | G02B1/00 | 分类号： | G02B1/00;H05H1/24 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 胡澎 |
| 地址： | 071002 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产生 双层 等离子体 光子 晶体 装置 方法 | ||
1.一种产生双层等离子体光子晶体的装置，包括：真空反应室，设置在所述真空反应室内的两个极板相对的水电极，以及与所述水电极电连接的等离子体发生电源，其特征是，在两个所述水电极之间设置有作为放电气隙边界的两个厚度不同的边框，在两个所述边框之间设置有介质板；所述边框和所述介质板分别与两个所述水电极的轴心线相垂直。
2.根据权利要求1所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，两个所述边框为厚度在0.1~20mm之间的正方形玻璃框，所述介质板为厚度在0.1~5mm之间的石英介质板。
3.根据权利要求2所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，两个所述边框的厚度分别为2.4mm和1.2mm，所述石英介质板的厚度为1mm。
4.根据权利要求1所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，在所述真空反应室内注有放电气体，所述放电气体为气压可调的空气，或者是空气与氩气按任意比例组成的混合气体。
5.根据权利要求4所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，所述真空反应室内的放电气体的气压为0.2~0.5Pa。
6.一种产生双层等离子体光子晶体的方法，其特征是，包括以下步骤：
a、设置一个真空反应室，并在所述真空反应室内设置两个极板相对的水电极，将所述水电极与等离子体发生电源电连接；
b、在两个所述水电极之间设置作为放电气隙边界的两个厚度不同的边框，在所述边框之间设置介质板，所述边框和所述介质板分别与两个所述水电极的轴心线相垂直；
c、闭合开关，等离子体发生电源作用于两个所述水电极，即可在两个所述水电极之间产生双层等离子体光子晶体。
7.根据权利要求6所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，两个所述边框为厚度在0.1~20mm之间的正方形玻璃框，所述介质板为厚度在0.1~5mm之间的石英介质板。
8.根据权利要求7所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，两个所述边框的厚度分别为2.4mm和1.2mm，所述石英介质板的厚度为1mm。
9.根据权利要求6所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，在所述真空反应室内注有放电气体，所述放电气体为气压可调的空气，或者是空气与氩气按任意比例组成的混合气体。
10.根据权利要求9所述的产生双层等离子体光子晶体的装置，其特征是，所述真空反应室内的放电气体的气压为0.2~0.5Pa。
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