[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，包括固定载台、移动载台、激光加工单元及测距单元；该固定载台与该移动载台相对设置，该固定载台用于承载待加工件；该激光加工单元及该测距单元固定于该移动载台上，该激光加工单元用于在该待加工件上加工出微结构；该测距单元用于感测该待加工件的高度，并根据感测结果调整该移动载台，从而使得该激光加工单元发出的激光聚焦在该待加工件上。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：该待加工件为板材。

3.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：该微结构为凹点。

4.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：该移动载台用于带动该激光加工单元沿一预定路径移动，从而在该待加工件上完成该微结构加工。

5.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：该测距单元包括激光光源、分光镜、移动反射镜、干涉条纹监测器及处理器；该激光光源用于向该分光镜发出一束激光；该分光镜将该激光分成第一束激光和第二束激光，该第一束激光依次经该分光镜反射、该移动反射镜反射及该分光镜透射后到达该干涉条纹监测器；该第二束激光依次经该分光镜透射、该待加工件反射及该分光镜反射后到达该干涉条纹监测器并和该第一束激光形成干涉条纹；该干涉条纹监测器用于感测该干涉条纹并将该干涉条纹的图像回传给该处理器。

6.如权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于：当该待加工件发生翘曲时，该第二束激光的光程变化，从而导致该干涉条纹发生改变，此时该处理器驱动该移动反射镜移动直至该第一束激光的光程和该第二束激光的光程相等，使得该干涉条纹恢复原状，该处理器并根据该移动反射镜移动的距离及方向调整该移动载台，从而使得该激光加工单元发出的激光聚焦在该待加工件上。

7.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：该测距单元用于向该待加工件发出一束激光、接收该待加工件反射的激光，并计算该激光传播的时间，从而得出该待加工件的高度，该激光测距仪并用于调整该移动载台使得该移动载台至该待加工件的距离保持恒定，从而使得该激光加工单元发出的激光聚焦在该待加工件上。